【技术实现步骤摘要】
本技术属于位移传感器技术。
技术介绍
在现有的静态、动态位移传感器中，以磁栅、光栅、感应同步器为代表，已被广泛采用多年。它们的优点在于精度高，缺点在于价格太贵，而且不适合在恶劣的环境中使用。其原因在于上述传感器的测量精度取决它本身基准件的制造精度，精密的制造工艺导致产品成本高，精密的结构形式导致其特别娇气，容易变形损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提出一种新的可同时兼顾动、静态测量的齿电式时栅位移传感器(简称齿电栅)，即利用达到普通均分精度的固体骨架形成按一定规律排列的线圈组，以此得到能够将机械位移与电信号的相位移一一对应的电行波信号，通过对此信号相位变化的测量而得到位移变化量，实现高精度测量。为了实现上述目的而设计的技术方案分为角位移和直线位移测量两种情况测量角位移的齿电式时栅传感器具有定子和转子，它在定子和转子上沿圆周均开有上下平行的两组槽齿，且定子与转子上的槽齿数相同，其中选择定子或转子上的两组槽齿沿圆周错开半齿形成正交，而另两组槽齿则不错开，形成双联齿轮状，在定子和转子上以槽齿均匀间隔(如间隔一齿、两齿等)分别正方向、反方向各绕有线圈，共形...
【技术保护点】
齿电式时栅传感器，它具有定子和转子，其特征在于：在定子和转子上沿圆周均开有上下平行的两组槽齿，且定子与转子上的槽齿数相同，其中选择定子或转子上的两组槽齿沿圆周错开半齿形成正交，另两组槽齿则不错开；在定子和转子上以槽齿均匀间隔分别沿正方向、反方向各绕有线圈，共形成四个沿圆周分布的以相邻齿为周期的线圈组，将两组线圈组作为激励线圈，通以时间正交的两路简谐波激励，而另两组线圈组为驻波响应线圈，两路驻波相加即得到电行波，电行波的相位移动与被检测的空间位移一一对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：彭东林，和子康，陈锡侯，朱革，杨伟，王先全，刘小康，张兴红，
申请(专利权)人：重庆工学院，
类型：实用新型
国别省市：85[中国|重庆]
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