高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置，包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元，所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上，经过分光镜分光后投射到反射镜上，经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中，经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上；透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后，通过反射镜、分光镜输送至相机中，被相机拍摄。本实用新型专利技术采用同轴方式来对透明物体脉理及缺陷观测，具有灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置
本技术涉及物体缺陷观察装置
，特别涉及高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置。
技术介绍
目前的透明物体缺陷观测装置基本上采用普通显微镜来观测透明物体的表面缺陷，其观察灵敏度不高，尤其不能观测到透明物体的脉理。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于针对现有透明物体缺陷观测装置所存在的不足而提供一种高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置。本技术所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现：高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置，包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元，所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上，经过分光镜分光后投射到反射镜上，经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中，经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上；透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后，通过反射镜、分光镜输送至相机中，被相机拍摄。在本技术的一个优选实施例中，所述相机的光轴与所述分光镜、反射镜的光轴同轴；所述光路矫正单元和透射单元的光轴同轴。在本技术的一个优选实施例中，在所述相机上配置有变倍镜头。在本技术的一个优选实施例中，所述相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元均安装在一机架上。由于采用了如上的技术方案，本技术采用同轴方式来对透明物体脉理及缺陷观测，具有灵敏度高的优点。r>附图说明图1为本技术的高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置的光原理示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式来进一步描述本技术。参见图1，图中所示的高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置，包括相机10、点光源20、菲尼尔透镜30、分光镜40、反射镜50、光路矫正单元60、移动平台70和透射单元80；相机10、点光源20、菲尼尔透镜30、分光镜40、反射镜50、光路矫正单元60、移动平台70和透射单元80均安装在一机架上。在相机10上设置有变倍镜头11，相机10的光轴与分光镜40、反射镜50的光轴同轴。光路矫正单元60和透射单元80的光轴同轴点光源20发出的光线经过菲尼尔透镜30聚焦后投射到分光镜40上，经过分光镜40分光后投射到反射镜50上，经过反射镜50反射后的光线投射到光路矫正单元60中，经过光路矫正单元60矫正后输出平行光投射在移动平台70的透明物体90上并通过透明物体90投射到透射单元80上；透射单元80上的成像返回光路矫正单元60并通过光路矫正单元60矫正后，通过反射镜50、分光镜40输送至相机10中，被相机10拍摄。从光源20出来的光在镜片30中集中。在光线集中的位置从针孔装置33里射出点光源。在光线(标准色为白色LED)分离器40里把从点光源中射出的光束在光学单元60里反射和平行化的同时，把这平行光垂直照射在放在平台70上的试料上的同时，通过试料产生的反射光(这反射光也是平行光)在焦点位置处集中光线。由镜头11所产生的试料的像在相机10的感应面结合成像。还有，在平台70下方设置了高面精度的反射镜80，在光学单元60和反射镜80的中间放置样品90，是观察内部缺陷(脉理)和表面缺陷成为可能没有发生异常的样品表面照射平行光的时候，表面即为镜面，被反射的平行光以所定的反射角反射出去。有异常发生的样品的情况，不平，凹凸的部分会由于倾斜而导致平行光的反射方向发生变化，跑出所定的视野范围之外或者更加聚光。这样的所形成的影子就能被观察到。材料表面所发生的异物，切痕，水印等等就如图所示为凹凸物。这个光学系统能检出此类凹凸物。看到的图像要比实际产生的异常清楚的多。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置，其特征在于，包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元，所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上，经过分光镜分光后投射到反射镜上，经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中，经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上；透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后，通过反射镜、分光镜输送至相机中，被相机拍摄。/n

【技术特征摘要】
1.高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置，其特征在于，包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元，所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上，经过分光镜分光后投射到反射镜上，经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中，经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上；透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后，通过反射镜、分光镜输送至相机中，被相机拍摄。

【专利技术属性】
技术研发人员：邵幼平，童雷，
申请(专利权)人：上海创波光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31