高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置制造方法及图纸

技术编号:25287672 阅读:73 留言:0更新日期:2020-08-14 23:21
本实用新型专利技术公开的高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置,包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元,所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上,经过分光镜分光后投射到反射镜上,经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中,经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上;透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后,通过反射镜、分光镜输送至相机中,被相机拍摄。本实用新型专利技术采用同轴方式来对透明物体脉理及缺陷观测,具有灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置
本技术涉及物体缺陷观察装置
,特别涉及高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置。
技术介绍
目前的透明物体缺陷观测装置基本上采用普通显微镜来观测透明物体的表面缺陷,其观察灵敏度不高,尤其不能观测到透明物体的脉理。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于针对现有透明物体缺陷观测装置所存在的不足而提供一种高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置。本技术所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现:高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置,包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元,所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上,经过分光镜分光后投射到反射镜上,经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中,经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上;透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后,通过反射镜、分光镜输送至相机中,被相机拍摄。在本技术的一个优选实施例中,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置,其特征在于,包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元,所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上,经过分光镜分光后投射到反射镜上,经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中,经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上;透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后,通过反射镜、分光镜输送至相机中,被相机拍摄。/n

【技术特征摘要】
1.高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置,其特征在于,包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元,所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上,经过分光镜分光后投射到反射镜上,经过反射镜反射后的光线投射到光路矫正单元中,经过光路矫正单元矫正后输出平行光投射在移动平台的透明物体上并通过透明物体投射到透射单元上;透射单元上的成像返回光路矫正单元并通过光路矫正单元矫正后,通过反射镜、分光镜输送至相机中,被相机拍摄。

【专利技术属性】
技术研发人员:邵幼平童雷
申请(专利权)人:上海创波光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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