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高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置制造方法及图纸
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下载高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置的技术资料
文档序号:25287672
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本实用新型公开的高灵敏度透明物体脉理和表面缺陷观测装置,包括相机、点光源、菲尼尔透镜、分光镜、反射镜、光路矫正单元、移动平台和透射单元,所述点光源发出的光线经过菲尼尔透镜聚焦后投射到分光镜上,经过分光镜分光后投射到反射镜上,经过反射镜反射后...
该专利属于上海创波光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海创波光电科技有限公司授权不得商用。
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