一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统技术方案

本发明专利技术涉及气体测试设备领域，本发明专利技术公开了一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统。该顶接触式气体测试腔包括：第一壳体，该第一壳体的顶部设有第一凹槽；第二壳体，该第二壳体的底部设有第二凹槽和探针固定孔，该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔；其中，该通孔的一端与供气装置连接，该通孔用于放置气体传感器和流通气体。本发明专利技术提供的顶接触式气体测试腔具有稳定时间短、测试效果好，以及与普通探针构成的气体测试系统具有成本低和占用空间小的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统
本专利技术涉及气体测试设备领域，特别涉及一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统。
技术介绍
随着人类生活质量的不断提高，人们对环境空气质量的关注度越来越高，这使得室内外空气质量监测成了一项必不可少的生活需求。动态气体测试系统是一种能够为气体检测设备提供稳定测试环境和实时样本输入的辅助装置，这类设备的稳定性和可靠性能够直接影响气体测试结果的准确度。随着气体传感技术的不断发展，其检测器件逐渐趋向于微小型化，对测试环境以及动态配气系统的要求也在逐步提升。有机场效应晶体管气体传感器件是一项新兴的基于有机半导体材料的气体检测技术，在气体传感性能增强和柔性电子领域均有广阔的发展前景。但是不同于无机敏感材料制备的器件，有机场效应晶体管器件对测试引线的连接要求比较苛刻。为保障器件的基本电学性能，减小因电极材料与有机半导体材料功函数不同带来的接触电阻，并减小器件工作电压，有机场效应晶体管器件主要采用接触的方式进行电极连接。然而，现有技术中的气体测试系统的测试腔室包括传感器放置区域、进气口，气体需要先通过进气口充满腔室稳定后，才能测试，然而由于气体进入气体仓后是无方向运动，需要稳定较长时间才能充满测试腔，才能测试准确，而且这种静态测试不能很好地模拟实际气流，测试效果差。且现有测试腔室均适用于常规硅基器件，而硅基器件主要通过在器件电极上焊接引线的方式使电极与性能分析设备电连接，但有机场效应晶体管气体传感器件的电极有机材料耐热性差和熔焊性差，无法焊接引线，故使用探针台作为引线平台进行操作，但现有的探针台设备体积大、操作复杂且成本高。
技术实现思路
本专利技术要解决的是上述
技术介绍
中的问题，本申请提供的气体测试腔气体具有稳定时间短，测试效果好，且与普通探针构成的气体测试系统具有成本低和占用空间小的特点。该顶接触式气体测试腔包括：第一壳体，该第一壳体的顶部设有第一凹槽；第二壳体，该第二壳体的底部设有第二凹槽和探针固定孔，该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔；其中，该通孔的一端与供气装置连接，该通孔用于放置气体传感器和流通气体。可选地，该第一凹槽包括连通的第一通气槽和第一置物槽；该第二凹槽包括连通的第二通气槽和第二置物槽；该第一通气槽与该第二通气槽连接形成气体通道；该第一置物槽与该第二置物槽连接形成容纳空间，该容纳空间用于放置气体传感器；该探针固定孔位于该第二置物槽上。可选地，该第一置物槽的底面积为0.1～100平方厘米。可选地，该气体通道的横截面的形状为圆形；该气体通道的直径为0.25～2厘米。可选地，第二壳体设有至少三个该探针固定孔；该探针固定孔的直径为0.1～1厘米。可选地，该第一壳体设有第一定位孔；该第二壳体设有与该第一定位孔相对应的第二定位孔。可选地，该第一壳体的材质为塑料、金属或者无机非金属中的一种或者多种；该第二壳体的材质为塑料、金属或者无机非金属中的一种或者多种。可选地，该第一壳体与该第二壳体的连接方式为粘接、螺接或者销接中的一种或者两种。本申请还公开了一种动态气体测试系统，其包括供气装置、性能参数分析仪、气体传感器和上述的顶接触式气体测试腔；该气体传感器固定于该顶接触式气体测试腔；该性能参数分析仪通过探针与该气体传感器的电极连接；该供气装置与该通孔的一端密封连接。可选地，还包括气体流量控制器；该气体流量控制器用于调节该供气装置传输给该通孔的气体流量；该供气装置包括干燥气体仓和分析气体仓；该干燥气体舱和该分析气体仓通过四通阀与该通孔连接。采用上述技术方案，本申请提供的顶接触式气体测试腔具有如下有益效果：本申请公开了一种顶接触式气体测试腔，其包括第一壳体，该第一壳体的顶部设有第一凹槽；第二壳体，该第二壳体的底部设有第二凹槽和探针固定孔，测试用探针通过该探针固定孔与气体传感器的电极接触，并固定在测试腔上，与现有技术中使用焊接引线相比，该种测试适用范围更广、不破坏有机气体传感的电极和电接触良好的优点，而且与现有技术中传统的探针台相比，该顶接触式气体测试腔上直接设有探针固定孔，用于固定探针，具有结构简单和成本低的优点，即只需要几根探针即可进行测试。该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔；通孔用于放置气体传感器和流通气体，由于供气装置通过与通孔的一端连接，气体通过该通孔直接到达气体传感器的区域，使得气体传感器区域能够很快充满待分析气体，缩短稳定时间，并且气体从通孔另一端排出，在通孔内形成稳定持续地气体流，更能模拟实际测试状态，具有测试效果好的优点，而现有技术中现有技术中的气体测试系统的测试腔室包括传感器放置区域、进气口，气体需要先通过进气口充满腔室稳定后，才能测试，然而由于气体进入气体仓后是无方向运动，需要稳定较长时间才能充满测试腔，才能测试准确，而且这种静态测试不能很好地模拟实际气流，测试效果差。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请顶接触式气体测试腔的结构示意图；图2为本申请顶接触式气体测试腔的爆炸图；图3为本申请动态气体测试系统的结构连接示意图；图4为本申请动态气体测试系统的第一种测试性能图；图5为本申请动态气体测试系第二种的测试性能图；图6为本申请另一种可选地实施方式中动态气体测试系统的源漏极电流随时间变化的曲线图；图7为本申请另一种可选地实施方式中动态气体测试系统的测试电流变化比值随时间变化的曲线图。以下对附图作补充说明：1-第一壳体；11-第一凹槽；111-第一通气槽；112-第一置物槽；2-第二壳体；21-第二凹槽；211-第二通气槽；212-第二置物槽；3-通孔；4-探针固定孔；5-第一定位孔；6-第二定位孔；7-供气装置；71-干燥气体仓；72-分析气体仓；8-气体流量控制器；9-电脑；10-四通阀；12-性能参数分析仪；13-气体传感器；14-顶接触式气体测试腔；15-第一出气口；16-第二出气口。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本申请至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种顶接触式气体测试腔，其特征在于，包括：/n第一壳体(1)，所述第一壳体(1)的顶部设有第一凹槽(11)；/n第二壳体(2)，所述第二壳体(2)的底部设有第二凹槽(21)和探针固定孔(4)，所述第二凹槽(21)与所述第一凹槽(11)通过所述第一壳体(1)和所述第二壳体(2)对接形成通孔(3)；/n其中，所述通孔(3)的一端与供气装置(7)连接，所述通孔(3)用于放置气体传感器和流通气体。/n

【技术特征摘要】
1.一种顶接触式气体测试腔，其特征在于，包括：
第一壳体(1)，所述第一壳体(1)的顶部设有第一凹槽(11)；
第二壳体(2)，所述第二壳体(2)的底部设有第二凹槽(21)和探针固定孔(4)，所述第二凹槽(21)与所述第一凹槽(11)通过所述第一壳体(1)和所述第二壳体(2)对接形成通孔(3)；
其中，所述通孔(3)的一端与供气装置(7)连接，所述通孔(3)用于放置气体传感器和流通气体。


2.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔，其特征在于：所述第一凹槽(11)包括连通的第一通气槽(111)和第一置物槽(112)；
所述第二凹槽(21)包括连通的第二通气槽(211)和第二置物槽(212)；
所述第一通气槽(111)与所述第二通气槽(211)连接形成气体通道；
所述第一置物槽(112)与所述第二置物槽(212)连接形成容纳空间，所述容纳空间用于放置气体传感器；
所述探针固定孔(4)位于所述第二置物槽(212)上。


3.根据权利要求2所述的顶接触式气体测试腔，其特征在于：所述第一置物槽(112)的底面积为0.1～100平方厘米。


4.根据权利要求2所述的顶接触式气体测试腔，其特征在于：所述气体通道的横截面的形状为圆形；
所述气体通道的直径为0.25～2厘米。


5.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔，其特征在于：第二壳体(2)设有至少三个所述探针固定孔(4)；
所述探针固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋健，李铁，郭腾飞，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31