【技术实现步骤摘要】
Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法
本专利技术涉及光学加工
，具体涉及一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法，用于Sagnac型横向剪切干涉仪膜层面形的离子束抛光修整。
技术介绍
Sagnac型横向剪切干涉仪是空间调制傅里叶变换成像光谱仪的核心部件，此类干涉仪性能稳定、体积小、重量轻且环境适应性强，特别适合太空和高空环境工作，因此，广泛应用于星载傅里叶变换成像光谱仪上。Sagnac干涉仪是用两个相同的半五角棱镜和接触面之间镀有半透半反的分束膜胶合而成。为尽量消除干涉仪的装夹应力，会在Sagnac干涉仪的上下两端面(非光学面)分别胶粘一定厚度的光学玻璃垫板。在进行胶合前，会分别对两个相同的半五角棱镜的反射面进行多层镀膜，增加反射率。由于Sagnac型干涉仪反射膜镀膜层一般有3～4层，工艺比较复杂，面形精度要求高，一般为八十分之一波长，而且胶合精度高、难度大。往往存在Sagnac干涉仪反射膜层脱落或胶合后膜层面形精度低，无法使用，只能重新投产新的干涉仪组件，造成人...
【技术保护点】
1.一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：包括离子抛光机安装基板(1)、水平安装板(4)、垂直安装板(2)、右侧保护板(5)和左侧保护板(6)；/n所述右侧保护板(5)和左侧保护板(6)安装在水平安装板(4)的前侧，且右侧保护板(5)和左侧保护板(6)能够沿水平安装板(4)的前侧左右移动；/nSagnac型干涉仪组件(3)安装在水平安装板(4)的顶面，且抛光面位于右侧保护板(5)和左侧保护板(6)之间；/n所述垂直安装板(2)安装在水平安装板(4)的后侧，其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔(21)；/n所述离子抛光机安装基板(1)位于...
【技术特征摘要】
1.一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：包括离子抛光机安装基板(1)、水平安装板(4)、垂直安装板(2)、右侧保护板(5)和左侧保护板(6)；
所述右侧保护板(5)和左侧保护板(6)安装在水平安装板(4)的前侧，且右侧保护板(5)和左侧保护板(6)能够沿水平安装板(4)的前侧左右移动；
Sagnac型干涉仪组件(3)安装在水平安装板(4)的顶面，且抛光面位于右侧保护板(5)和左侧保护板(6)之间；
所述垂直安装板(2)安装在水平安装板(4)的后侧，其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔(21)；
所述离子抛光机安装基板(1)位于垂直安装板(2)的后侧，其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽(11)；所述垂直安装板(2)和离子抛光机安装基板(1)通过连接件(8)安装，所述连接件(8)包括固定连接的头部和螺杆段，所述头部安装在T形槽(11)内，所述螺杆段穿过T形槽(11)与第一腰形孔(21)连接。
2.根据权利要求1所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述垂直安装板(2)的中心位置设置有安装圆孔(22)，所述离子抛光机安装基板(1)的中心位置设置有球形凸起(12)，所述球形凸起(12)与安装圆孔(22)配合安装，将垂直安装板(2)安装在离子抛光机安装基板(1)的中心位置。
3.根据权利要求2所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述右侧保护板(5)的底部设置有第二腰形孔(51)，所述右侧保护板(5)通过第二腰形孔(51)与水平安装板(4)连接，并通过第二腰形孔(51)调节其遮挡位置，避免离子束溅射到其他非抛光面。
4.根据权利要求3所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述左侧保护板(6)的底部设置有第三腰形孔(61)，所述左侧保护板(6)通过第三腰形孔(61)与水平安装板(4)连接，并通过第三腰形孔(61)调节其遮挡位置，避免离子束溅射到其他非抛光面。
5.根据权利要求1至4任一所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：所述水平安装板(4)的底面设置有减重凹槽(41)，用于减轻水平安装板(4)的重量。
6.根据权利要求5所述的Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾昕胤，孙剑，郝雄波，张智南，李思远，刘学斌，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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