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本发明提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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