【技术实现步骤摘要】
一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法
本专利技术属于光学检测领域，具体涉及一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法。
技术介绍
随着信息时代的不断发展和社会生产技术的不断提高，各种微结构已经在信息、生物医疗、工业和航空等领域得到广泛应用。白光干涉显微法是利用宽光谱的低相干性来实现对微结构三维形貌的高精度检测，已经获得了国内外广泛关注。白光干涉显微法是非接触检测微结构的主流方法，其原理是应用具有不同横向分辨率的系列NA物镜组合，保证横向分辨线宽变化的微结构，应用随纵向位置变化的多幅白光干涉图信息和专用算法，保证具有纳米尺度的纵向分辨率。但是，通过实验研究发现，在微结构的三维形貌检测中，检测系统的物镜数值孔径NA、待测微结构线宽和台阶高度之间存在某种耦合关系，在某些参数耦合状态下，出现了蝙蝠翼效应，即检测结果中台阶边缘处出现毛刺且形状类似蝙蝠翼，复原的微结构形貌失真，影响了微结构横向与纵向尺度的正确分辨。PeterLehmann团队提出了两种不同的信号建模理论来研究蝙蝠翼效应的产生原因，两种模...
【技术保护点】
1.一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法，其特征在于，方法如下：/n根据已知待测微结构的三维信息，分析不同干涉显微物镜的数值孔径NA与待测微结构线宽和台阶高度之间的关系，判断上述关系是否同时满足以下两点：/n1）探测盲区在极限分辨率内；/n2）探测盲区在接收CCD上所占像素点不影响成像；/n若不能同时满足，则判断在实际光学检测中会出现蝙蝠翼效应；/n若同时满足，则判断在实际光学检测中不会出现蝙蝠翼效应。/n
【技术特征摘要】
1.一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法，其特征在于，方法如下：
根据已知待测微结构的三维信息，分析不同干涉显微物镜的数值孔径NA与待测微结构线宽和台阶高度之间的关系，判断上述关系是否同时满足以下两点：
1）探测盲区在极限分辨率内；
2）探测盲区在接收CCD上所占像素点不影响成像；
若不能同时满足，则判断在实际光学检测中会出现蝙蝠翼效应；
若同时满足，则判断在实际光学检测中不...
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