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本发明公开了一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法，通过理论建模分析干涉显微物镜的数值孔径NA、待测微结构线宽和台阶高度之间的关系，即横向分辨率与纵向分辨率之间的关系，并结合实际情况进行理论推导获得三者之间存在的耦合关系，能够在知...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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