一种晶圆夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。本实用新型专利技术操作方便，夹持牢固性高，晶圆不易滑落摔碎。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆夹具
本技术属于芯片加工
，具体涉及一种晶圆夹具。
技术介绍
在芯片加工领域中，原始材料晶圆的加工涉及多道不同的工序，需要经历数次不同状态下的夹取和放置。在加工过程中，简易通用的晶圆夹具为平口镊子，夹取晶圆过程中需要操作者对夹具持续保持一定的压力，这就增加了晶圆移送过程中晶圆滑落摔碎的风险系数。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种晶圆夹具，操作方便，夹持牢固性高，晶圆不易滑落摔碎。本技术提供了如下的技术方案：一种晶圆夹具，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。优选的，所述主臂内部设有通气腔，所述主臂顶部安装有与所述通气腔相通的抽气装置，所述抽气装置上设有开关，所述主臂靠近侧臂的位置设有与所述通气腔相通的主导气管；所述伸缩臂上设有侧导气管，所述主导气管和侧导气管通过螺旋状的通气管相连，所述侧导气管与所述吸盘相连通。优选的，所述限位槽为弧形，且弧度大于π/3。优选的，所述限位槽的槽内壁设有一层保护垫。优选的，所述主臂上固定设有支撑轴，所述侧臂端部固接有齿环，所述齿环套于所述支撑轴外部且能够相对支撑轴转动。优选的，所述齿环的外圈设有齿槽，所述主臂上设有支撑块，所述支撑块上安装有能够与所述齿槽相卡合的第一弹性组件。优选的，所述伸缩臂相对所述吸盘的一侧设有滑块，所述侧臂设有容纳所述滑块滑动的滑槽，所述滑槽壁上设有若干卡槽，所述滑块设有能够与所述卡槽相卡合的第二弹性组件。优选的，所述第二弹性组件与第一弹性组件的结构相同，均包括相连的弹簧和卡凸，所述滑块和支撑块内均设有相连通的弹簧槽和卡凸槽，所述弹簧槽用于安装弹簧，所述卡凸槽能够容纳所述卡凸。优选的，所述卡凸的外表面为圆弧面。优选的，所述侧臂的数量为两个，所述侧臂与主臂的夹角为15-120°。与现有技术相比，本技术的有益效果是：夹取圆晶时，通过限位槽翘起和卡住圆晶的一侧，同时以吸盘吸附在圆晶表面，能够牢固地夹持住圆晶，稳定性高，晶圆不易滑落摔碎，且操作方便；通过结合抽气装置控制吸盘等可实现机械化作业。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是通气管的结构示意图；图3是抽气装置形成负压的原理示意图；图4是侧臂与伸缩臂的结构示意图；图5是侧臂与主臂的连接结构示意图；图6是侧臂与伸缩臂的连接结构示意图；图7是第一弹性组件的结构示意图；图中标记为：1、主臂；2、开关；3、抽气装置；4、主导气管；5、限位槽；6、侧臂；7、伸缩臂；8、吸盘；9、侧导气管；10、保护垫；11、通气管；12、滑槽；13、滑块；14、齿环；15、卡槽；16、第二弹性组件；17、支撑块；18、第一弹性组件；19、支撑轴；20、弹簧；21、卡凸；22、弹簧槽；23、卡凸槽；24、通气腔；25、齿槽。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要说明的是，在本技术的描述中，术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术而不是要求本技术必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。如图1所示，一种晶圆夹具，包括主臂1以及与主臂1转动连接的侧臂6，侧臂6连接有长度能够调节的伸缩臂7，伸缩臂7的末端设有吸盘8，主臂1的底部设有限位槽5。如图1所示，限位槽5为弧形，且弧度大于π/3，可以适用多种尺寸的晶圆，限位槽5的前部较薄，方便夹取平放的晶圆。限位槽5的槽内壁设有一层保护垫10，采用橡胶等较软的材料制作，对晶圆具有保护作用。如图1-3所示，主臂1内部设有通气腔24，主臂1顶部安装有与通气腔24相通的抽气装置3，抽气装置3上设有开关2，主臂1靠近侧臂6的位置设有与通气腔24相通的主导气管4；伸缩臂7上设有侧导气管9，主导气管4和侧导气管9通过螺旋状的通气管11相连，侧导气管9与吸盘8相连通。打开开关2，抽气装置3工作，在主臂1的通气腔24内形成负压环境，实现吸盘8在圆晶表面的吸附。如图4和5所示，主臂1上固定设有支撑轴19，侧臂6端部固接有齿环14，齿环14套于支撑轴19外部且能够相对支撑轴19转动。齿环14的外圈设有齿槽25，主臂1上设有支撑块17，支撑块17上安装有能够与齿槽25相卡合的第一弹性组件18。当对侧臂6施加外力使齿环14相对支撑轴19转动时，第一弹性组件18受力收缩，当停止转动时，第一弹性组件18与齿槽25再次卡合，实现侧臂6的位置固定。如图4和6所示，伸缩臂7相对吸盘8的一侧设有滑块13，侧臂6设有容纳滑块13滑动的滑槽12，滑槽12壁上设有若干卡槽15，滑块13设有能够与卡槽12相卡合的第二弹性组件16。当需要调节伸缩臂7的长度时，拉动或推动伸缩臂7，使滑块13沿滑槽12滑动，此时第二弹性组件16受力收缩，当伸缩臂7调节至合适长度后，第二弹性组件16重新与卡槽15卡合，实现伸缩臂7的位置固定。伸缩臂7的长度调节范围为0-30mm，可适应不同尺寸的晶圆夹持。如图7所示，第二弹性组件16与第一弹性组件18的结构相同，均包括相连的弹簧20和卡凸21，滑块13和支撑块17内均设有相连通的弹簧槽22和卡凸槽23，弹簧槽22用于安装弹簧20，卡凸槽23能够容纳卡凸21；卡凸21与齿槽25、卡槽15相配合，受外力时回缩至卡凸槽23内，此时弹簧20被压缩，当无外力作用于卡凸21时，弹簧20的弹力使卡凸21伸出，卡入齿槽25或卡槽15中。卡凸21的外表面为圆弧面，减少卡凸21与齿槽25或卡槽15相对移动时的阻力，便于伸缩臂7的长度调节以及侧臂6与主臂1间的角度调节。如图1所示，侧臂6的数量为两个，侧臂6与主臂1的夹角为15-120°，用于控制和晶圆接触三点的角度位置，适应不同尺寸的晶圆。用本实施例提供的晶圆夹具夹取晶圆时，调节好两侧臂6的开合角度和伸缩臂7的长度，通过限位槽5托起圆晶的一侧，打开开关2，抽气装置3抽气，使吸盘8牢牢吸附于圆晶表面，牢固地夹持住圆晶，稳定性高，晶圆不易滑落摔碎，且操作方便，便于实现机械化作业。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆夹具，其特征在于，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹具，其特征在于，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。


2.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述主臂内部设有通气腔，所述主臂顶部安装有与所述通气腔相通的抽气装置，所述抽气装置上设有开关，所述主臂靠近侧臂的位置设有与所述通气腔相通的主导气管；所述伸缩臂上设有侧导气管，所述主导气管和侧导气管通过螺旋状的通气管相连，所述侧导气管与所述吸盘相连通。


3.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述限位槽为弧形，且弧度大于π/3。


4.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述限位槽的槽内壁设有一层保护垫。


5.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述主臂上固定设有支撑轴，所述侧臂端部固接有齿环，所述齿环套于所述支撑轴外部且能够相对支撑轴转动。...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔剑，李志华，刘景业，徐晨晨，
申请(专利权)人：东台镭创光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32