一种离子注入机的防护装置制造方法及图纸

技术编号:25201687 阅读:32 留言:0更新日期:2020-08-07 21:28
本实用新型专利技术公开了一种离子注入机的防护装置,包括主体,所述主体四个边角对称设置有固定装置、底端对称设置凹槽,所述凹槽槽口处设置卡槽,所述凹槽中一体成型设置有第一缓冲弹簧、并且第一缓冲弹簧另一端一体成型设置在支撑块一端,所述支撑块另一端一体成型设置有第一支撑杆,所述第一支撑杆底端设置有方槽,通过本实用新型专利技术在对设进行搬运或位置移动时,对于设备具有很好的缓冲保护作用,在需要进行位置固定时,具有很好的固定装置,不仅简单方便,还具有很好的稳固性,进而避免设备发生位置滑动和偏移,保证工作的正常进行。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的防护装置
本技术涉及离子注入机设备
,具体为一种离子注入机的防护装置。
技术介绍
离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多,它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等,在电子设备生产行业中应用非常广泛,对于现有的离子注入机设备,为了方便其搬运和位置的移动,通常都是在其底端简单的设置滚轮,但是这样在对设备进行搬运或者位置移动时,由于很容易产生振动,进而可能对设备中的电子元器件造成损坏,另一方面,在设备进行工作过程中,没有很好的位置固定装置,虽然有的滚轮上自带锁定装置,但是位置固定不牢固,还是容易发生位置滑动和偏移现象的产生,不但可能会对设备造成毁坏,还会影响设备的正常工作,为此,本技术提出一种离子注入机的防护装置用于解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种离子注入机的防护装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种离子注入机的防护装置,包括主体,所述主体四个边角对称设置有固定装置、底端对称设置凹槽,所述凹槽槽口处设置卡槽,所述凹槽中一体成型设置有第一缓冲弹簧、并且第一缓冲弹簧另一端一体成型设置在支撑块一端,所述支撑块另一端一体成型设置有第一支撑杆,所述第一支撑杆底端设置有方槽,所述方槽侧壁贯穿设置有第一连接螺纹孔,所述方槽插接有第二支撑杆、并且第二支撑杆一端贯穿设置有第二连接螺纹孔,所述第二支撑杆通过螺栓固定连接在方槽中,所述第二支撑杆底端设置有滚轮,所述卡槽通过固定螺钉连接固定卡板,所述固定卡板中间贯穿设置有通槽,所述第二支撑杆通过方槽贯穿卡板,所述卡板一侧一体成型对称设置有第二缓冲弹簧,所述第二缓冲弹簧另一端一体成型设置在支撑块上。优选的,所述固定装置包含有L型固定板、第一复位弹簧、第一插柱、第二插柱、第二复位弹簧、第一L型滑板、限位槽、固定槽、踏板、挤压弹簧、第二L型滑板、固定底板,所述L型固定板一体成型设置在主体的边角侧壁上,所述L型固定板中设置放置槽、并且放置槽中一体成型等距设置第一复位弹簧,所述L型固定板设置有第一插槽、并且第一插槽一端设置第二插槽,所述第一插槽插接有第一插柱、第二插槽插接有第二插柱,所述第一插柱在与第二插柱同一端一体成型设置第二复位弹簧、并且第二复位弹簧另一端一体成型设置在第一插槽中,所述第一复位弹簧另一端一体成型设置在第一L型滑板上,所述第一L型滑板边侧设置有限位槽、底端一体成型设置有踏板,所述限位槽一端设置有固定槽,所述第一L型滑板中设置滑槽、并且滑槽中一体成型等距设置挤压弹簧,所述挤压弹簧另一端一体成型设置在第二L型滑板上端面,所述第二L型滑板底端面一体成型设置有固定底板。优选的,所述固定槽、限位槽与第二插槽设置位置相对应、设置组数相同,并且固定槽槽口截面形状与第二插槽的槽口截面形状、第二插柱截面形状相同,第二插柱长度大于第二插槽长度。优选的,所述固定底板底端面粘接有橡胶垫,第一插柱侧壁磨砂设置。优选的,所述通槽的槽口截面形状与第一支撑杆截面形状相同,第二支撑杆截面形状与方槽的槽口截面形状相同。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、通过本技术在对设进行搬运或位置移动时,对于设备具有很好的缓冲保护作用;2、在需要进行位置固定时,具有很好的固定装置,不仅简单方便,还具有很好的稳固性,进而避免设备发生位置滑动和偏移,保证工作的正常进行。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为本技术固定装连接结构爆炸示意图;图3为本技术柱体1底端缓冲连接结构爆炸示意图;图4为本技术L型固定板内部连接结构局部剖视图。图中:主体1、固定装置2、L型固定板201、第一复位弹簧202、第一插柱203、第二插柱204、第二复位弹簧205、第一L型滑板206、限位槽207、固定槽208、踏板209、挤压弹簧210、第二L型滑板211、固定底板212、凹槽3、卡槽4、第一缓冲弹簧5、支撑块6、第一支撑杆7、方槽8、第二支撑杆9、固定卡板10、通槽11、第二缓冲弹簧12。具体实施方式下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图请参阅图1至图4,本技术提供一种技术方案:一种离子注入机的防护装置,对于本技术包括主体1,在主体1的四个边角对称设置有固定装置2、底端对称设置凹槽3,这里的固定装置2包含有L型固定板201、第一复位弹簧202、第一插柱203、第二插柱204、第二复位弹簧205、第一L型滑板206、限位槽207、固定槽208、踏板209、挤压弹簧210、第二L型滑板211、固定底板212,L型固定板201一体成型设置在主体1的边角侧壁上,L型固定板201中设置放置槽、并且放置槽中一体成型等距设置第一复位弹簧202,L型固定板201设置有第一插槽、并且第一插槽一端设置第二插槽,第一插槽插接有第一插柱203、第二插槽插接有第二插柱204,第一插柱203在与第二插柱204同一端一体成型设置第二复位弹簧205、并且第二复位弹簧205另一端一体成型设置在第一插槽中,第一复位弹簧202另一端一体成型设置在第一L型滑板206上,第一L型滑板206边侧设置有限位槽207、底端一体成型设置有踏板209,限位槽207一端设置有固定槽208,这里要求固定槽208、限位槽207与第二插槽设置位置相对应、设置组数相同,并且固定槽208槽口截面形状与第二插槽的槽口截面形状、第二插柱204截面形状相同,第二插柱204长度大于第二插槽长度,其目的是在进行固定时能够确保第二插柱204插接固定在固定槽208中,第一L型滑板206中设置滑槽、并且滑槽中一体成型等距设置挤压弹簧210,挤压弹簧210另一端一体成型设置在第二L型滑板211上端面,第二L型滑板211底端面一体成型设置有固定底板212,固定底板212底端面粘接有橡胶垫,第一插柱203侧壁磨砂设置,在固定底板212底端设置橡胶垫可以增加其与地面接触的摩擦和紧密性,进而提高主体1固定牢固性,在第一插柱203侧壁采用磨砂设置,其作用是方便第一插柱203的拉动。这里的凹槽3在其槽口处设置卡槽4,凹槽3中一体成型设置有第一缓冲弹簧5、并且第一缓冲弹簧5另一端一体成型设置在支撑块6一端,支撑块6另一端一体成型设置有第一支撑杆7,第一支撑杆7底端设置有方槽8,方槽8侧壁贯穿设置有第一连接螺纹孔,方槽8插接有第二支撑杆9、并且第二支撑杆9一端贯穿设置有第二连接螺纹孔,第二支撑杆9通过螺栓固定连接在方槽8中,第二支撑杆9底端设置有滚轮,卡槽4通过固定螺钉连接固定卡板10,固定卡板10中间贯穿设置有通槽11,这里要求通槽11的槽口截面形状与第一支撑杆7截面形状相同,第二支撑杆9截面形状与方槽8的槽口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机的防护装置,包括主体(1),其特征在于:所述主体(1)四个边角对称设置有固定装置(2)、底端对称设置凹槽(3),所述凹槽(3)槽口处设置卡槽(4),所述凹槽(3)中一体成型设置有第一缓冲弹簧(5)、并且第一缓冲弹簧(5)另一端一体成型设置在支撑块(6)一端,所述支撑块(6)另一端一体成型设置有第一支撑杆(7),所述第一支撑杆(7)底端设置有方槽(8),所述方槽(8)侧壁贯穿设置有第一连接螺纹孔,所述方槽(8)插接有第二支撑杆(9)、并且第二支撑杆(9)一端贯穿设置有第二连接螺纹孔,所述第二支撑杆(9)通过螺栓固定连接在方槽(8)中,所述第二支撑杆(9)底端设置有滚轮,所述卡槽(4)通过固定螺钉连接固定卡板(10),所述固定卡板(10)中间贯穿设置有通槽(11),所述第二支撑杆(9)通过通槽(11)贯穿卡板(10),所述卡板(10)一侧一体成型对称设置有第二缓冲弹簧(12),所述第二缓冲弹簧(12)另一端一体成型设置在支撑块(6)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的防护装置,包括主体(1),其特征在于:所述主体(1)四个边角对称设置有固定装置(2)、底端对称设置凹槽(3),所述凹槽(3)槽口处设置卡槽(4),所述凹槽(3)中一体成型设置有第一缓冲弹簧(5)、并且第一缓冲弹簧(5)另一端一体成型设置在支撑块(6)一端,所述支撑块(6)另一端一体成型设置有第一支撑杆(7),所述第一支撑杆(7)底端设置有方槽(8),所述方槽(8)侧壁贯穿设置有第一连接螺纹孔,所述方槽(8)插接有第二支撑杆(9)、并且第二支撑杆(9)一端贯穿设置有第二连接螺纹孔,所述第二支撑杆(9)通过螺栓固定连接在方槽(8)中,所述第二支撑杆(9)底端设置有滚轮,所述卡槽(4)通过固定螺钉连接固定卡板(10),所述固定卡板(10)中间贯穿设置有通槽(11),所述第二支撑杆(9)通过通槽(11)贯穿卡板(10),所述卡板(10)一侧一体成型对称设置有第二缓冲弹簧(12),所述第二缓冲弹簧(12)另一端一体成型设置在支撑块(6)上。


2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的防护装置,其特征在于:所述固定装置(2)包含有L型固定板(201)、第一复位弹簧(202)、第一插柱(203)、第二插柱(204)、第二复位弹簧(205)、第一L型滑板(206)、限位槽(207)、固定槽(208)、踏板(209)、挤压弹簧(210)、第二L型滑板(211)、固定底板(212),所述L型固定板(201)一体成型设置在主体(1)的边角侧壁上,所述L型固定板(201)中设置放置槽、并且放置槽中一体成型等距设置第一复位弹簧(202),...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨洋
申请(专利权)人:扬州信尚电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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