一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路，包括：单片机控制系统、负载异常保护电路、占空比控制电路、逻辑开关转换电路、IGBT过流和限流保护电路、光耦隔离IGBT桥式驱动电路、主回路电路。本实用新型专利技术可方便进行键盘控制屏幕显示的人机交互操作；可对外实现计算机、PLC远程通信和控制；具有由单片机完成的恒压、恒流、恒功率控制等多项功能；通过多重隔离手段提高了本新型电路抗干扰性能和防电冲击性能；通过分级保护措施提高了本新型电路运行安全性，通过双引入电路方式实施打火/短路保护全覆盖，以及通过采用新型非晶变压器材料缩小变压器体积，降低温升和损耗，减少绕组匝数，适应更高的工作频率需要。

【技术实现步骤摘要】
一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路
本技术涉及电源电路
，尤其涉及一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路。
技术介绍
现有的、传统的真空镀膜电源，在使用上存在无法远程操作及智能化控制、功能单一、电压、电流、功率调节范围窄、操作繁琐、笨重、功率小、效率低、故障率高等缺点，随着互联网技术的发展、软件技术的快速应用，现有的真空镀膜电源已无法与计算机、PLC进行无缝对接，因而数字化管理难以实施，造成了现有电源在使用上极为不便。
技术实现思路
基于
技术介绍
存在的技术问题，本技术提出了一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路，该电路采用了先进的双引入打火短路保护、新颖的差分占空比控制、安全可靠的分级保护、高性能的桥式驱动，利用单片机实现对外通信、智能化恒流、恒压、恒功率控制，通过变动分压电路的电阻阻值、变动IGBT型号参数、变动大功率隔离换能变压器制作办法实现多功率配置，大功率隔离换能变压器采用新材料非晶磁环绕制。本技术采用的技术方案是：一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路，其特征在于，包括：单片机控制系统、负载异本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路，其特征在于，包括：单片机控制系统、负载异常保护电路、占空比控制电路、逻辑开关转换电路(K1)、IGBT过流和限流保护电路、光耦隔离IGBT桥式驱动电路、主回路电路；/n所述单片机控制系统包括：单片机电路(U1)、键控/显示电路(K2)、通信接口电路(U0)；所述单片机电路(U1)通过I/O端口与所述键控/显示电路(K2)电气连接，通过发送、接收、使能引脚同通信接口电路(U0)电气连接；/n所述负载异常保护电路包括：打火/短路保护电路(U3)、缓冲电路(U4)；所述单片机电路(U1)通过22脚与所述缓冲电路(U4)电气连接，通过23脚与所述打火/短路保...

【技术特征摘要】
1.一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路，其特征在于，包括：单片机控制系统、负载异常保护电路、占空比控制电路、逻辑开关转换电路(K1)、IGBT过流和限流保护电路、光耦隔离IGBT桥式驱动电路、主回路电路；
所述单片机控制系统包括：单片机电路(U1)、键控/显示电路(K2)、通信接口电路(U0)；所述单片机电路(U1)通过I/O端口与所述键控/显示电路(K2)电气连接，通过发送、接收、使能引脚同通信接口电路(U0)电气连接；
所述负载异常保护电路包括：打火/短路保护电路(U3)、缓冲电路(U4)；所述单片机电路(U1)通过22脚与所述缓冲电路(U4)电气连接，通过23脚与所述打火/短路保护电路(U3)电气连接；
所述占空比控制电路包括：光耦控制电路(U6)、光耦差分电路(U7)、PWM控制电路(U9)、限宽电路(U10)；所述PWM控制电路(U9)通过1脚与所述光耦控制电路(U6)电气连接，通过5脚、6脚与所述光耦差分电路(U7)电气连接，通过8脚与所述限宽电路(U10)电气连接；
所述单片机电路(U1)通过23脚、24脚与所述逻辑开关转换电路(K1)电气连接；所述逻辑开关转换电路(K1)与所述光耦控制电路(U6)电气连接；
所述IGBT过流和限流保护电路包括：过流保护电路(U8)、限流保护电路(U5)；所述PWM控制电路(U9)通过16脚与所述过流保护电路(U8)电气连接，通过7脚与所述限流保护电路(U5)电气连接；
所述光耦隔离IGBT桥式驱动电路包括：光耦隔离电路(U11～U14)、驱动电路(Q6～Q9)；所述PWM控制电路(U9)通过11脚与所述光耦隔离电路(U11)、(U14)电气...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁隽颖，
申请(专利权)人：梁隽颖，
类型：新型
国别省市：广东;44