下载一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路的技术资料

文档序号:25200427

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本实用新型公开了一种多功率配置直流磁控溅射镀膜电源电路,包括:单片机控制系统、负载异常保护电路、占空比控制电路、逻辑开关转换电路、IGBT过流和限流保护电路、光耦隔离IGBT桥式驱动电路、主回路电路。本实用新型可方便进行键盘控制屏幕显示的人...
该专利属于梁隽颖所有,仅供学习研究参考,未经过梁隽颖授权不得商用。

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