【技术实现步骤摘要】
一种纳米晶NdGaN硬质涂层及其制备方法
本专利技术涉及一种纳米晶NdGaN硬质涂层及其制备方法,属于表面工程制造
技术介绍
工程领域中多种形式的摩擦副在发挥着重要作用,摩擦副表面的磨损失效已成为威胁工程装备可靠性的重要因素。目前,解决工程表面耐磨的方式主要包括两个方面,一方面开发硬质耐磨涂层,例如氮化钛涂层、陶瓷基涂层等硬质涂层;另一方面研究应用自润滑材料,如金属化合物类润滑材料、无机物类固体润滑材料、有机物类固体润滑材料等。这些解决工程表面耐磨的方式均在一定程度上呈现了良好的效果,但同时还存在一些问题,主要包括:某些硬质涂层与基体界面的结合强度不够,容易脱落;多数自润滑材料的抗压承载能力不足,且容易消耗。因此,开发高结合强度的新型硬质耐磨涂层,提高装备表面耐磨性能和装备整体可靠性,对促进制造业及再制造领域的深刻变革具有重要意义。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种纳米晶NdGaN硬质涂层及其制备方法,进一步提高装备表面耐磨性能和装备整体可靠性。技术方案:本专利技术的一种纳米晶NdGaN硬质涂层,涂层基体的主要成分为NdN,添加相为Ga,NdN以纳米晶体结构存在,且NdN晶体的平均粒径为5nm左右,涂层整体厚度为0.6~1.0μm,添加相Ga元素沿涂层外表面能够生成致密的GaO润滑薄膜。本专利技术的一种纳米晶NdGaN硬质涂层的制备方法为:采用原子层沉积的方法,通过铷源、镓源和氮源的自限制化学反应在工程表面逐层沉积NdGaN ...
【技术保护点】
1.一种纳米晶NdGaN硬质涂层,其特征在于:涂层基体的主要成分为NdN,添加相为Ga。/n
【技术特征摘要】
1.一种纳米晶NdGaN硬质涂层,其特征在于:涂层基体的主要成分为NdN,添加相为Ga。
2.根据权利要求1所述的一种纳米晶NdGaN硬质涂层,特别地,其主要成分NdN以纳米晶体结构存在,NdN晶体的平均粒径为5nm左右。
3.根据权利要求1所述的一种纳米晶NdGaN硬质涂层,特别地,其整体厚度为0.6~1.0...
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