【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种采用纳米测试技术计量表面的微细结构的计量设备，特别涉及一种激光扫描力显微镜。扫描力显微镜，包括原子力扫描显微镜，静电力扫描显微镜，磁力扫描显微镜及热力扫描显微镜，是通过微探针与被测样品之间的作用力来获得样品表面微细结构信息，还可用于研究样品表面的的磁学与电学性质。扫描力显微镜的工作模式可分为接触模式和非接触模式两种，接触模式是通过测量微探针的变位来确定样品与微探针相互作用力的变化，进而确定样品表面的微观结构，它具有原子量级的横向分辨率，其缺陷是测量薄软样品时会损伤样品表面。采用光学方法测量微探针变位或者振幅变化，常用的方法为光杠杆法及各种光干涉法，如已商品化的原子力显微镜，测量样品表面的形貌是微探针与样品之间纵向力和切向力共同作用的结果，虽有很高的纵向分辨率和横向分辨率，但测量精度较低。而光干涉法仅对纵向力产生的微探针变位灵敏，而对切向力的作用不灵敏，因而测量精度较高，各种光干涉探针法通常采用共路或准共路设计，如利用Nomarski原理制成的干涉光探针和利用衍射光栅分光的双通道干涉光探针，形成干涉信号的两束光分别从微探针的头部和尾部反射，此外还...
【技术保护点】
一种激光扫描力显微镜，包括光源，准直扩束器，显微物镜，微探针，压电扫描台，被测样品置于压电扫描台上，锁相放大器，带有Ａ／Ｄ及Ｄ／Ａ转换器的计算机，其特征在于：该激光扫描显微镜由光源（１）、准直扩束器（２）、半反半透镜（３）、显微物镜（４）、聚焦物镜（５）、带有光电二极管的前置放大器（６）、锁相放大器（７）、压电叠堆（８）、微探针（９）、压电扫描台（１０）、带有Ａ／Ｄ及Ｄ／Ａ转换器的计算机（１１）构成，其中光源（１）采用半导体激光器，激光经准直扩束器（２）、半反半透镜（３）、显微物镜（４）后聚焦在微探针（９）表面上，其反射光与后向衍射光形成干涉，干涉光束复经显微物镜（４）、半...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卓永模，牟旭东，杨甬英，游艺锋，
申请(专利权)人：浙江大学现代光学仪器研究所，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。