一种剥离废液回收系统和回收方法技术方案

本发明专利技术提供一种剥离废液回收系统和回收方法，回收系统包括精馏塔、刮膜蒸发器、第一热交换器、第二热交换器和第三热交换器；刮膜蒸发器第二出口用于输出重组分；第一热交换器的第一热媒出口用于输出中间组分；精馏塔第一出口与第二热交换器连通后分两通路，其中一通路用于输出轻组分。回收方法包括如下步骤：剥离废液经热交换后精馏：塔顶流股热交换后分两部分，其中一部分为轻组分；塔底流股分两部分：其中一部分蒸发后再分两部分，其中一部分为重组分；从塔中抽出汽相的中间流股与剥离废液热交换得冷凝后的中间组分。本发明专利技术使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，有效减小占地、降低真空泵负荷。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离废液回收系统和回收方法
本专利技术涉及废有机溶剂回收
，具体涉及一种剥离废液回收系统和回收方法。
技术介绍
光电半导体行业使用有机溶剂或有机溶剂水溶液对光阻胶进行剥离，使用后的有机溶剂或有机溶剂水溶液称为剥离废液。剥离废液一般溶解有<5wt％的光阻胶，在升温、浓缩的情况下，光阻胶会析出附着在设备和管道上，影响剥离废液回收装置的正常运行。所述剥离废液主要成分是MEA(monoethanolamine，一乙醇胺)、BDG(2-(2-Butoxyethoxy)ethanol，二乙二醇单丁醚)、重组分(主要是光阻胶)、轻组分(主要是水)。剥离废液回收装置目前普遍采用、且较可靠的手段是通过精馏去除剥离废液中的轻组分和重组分，剩下的有机物回收再利用。CN105523598A为阶段性变压精馏塔回收光刻胶剥离液的方法，其具体步骤为：(1)向光刻胶剥离液中加入活性炭脱色并吸附金属离子，经分离后，得到初级再生液；(2)所得初级再生液在氮气氛和抗氧化剂保护下经过四次精馏得到光刻胶剥离液合格品，现有的剥离废液回收装置所用精馏工艺含有2至4个精馏塔，建成后占地面积广，设备多，管路复杂。剥离废液中需回收再利用的有机物沸点高，剥离废液回收装置要求在负压状态下操作，通过降低压力降低有机物的沸点，从而降低对再沸器加热用的蒸汽的压力。采用2个以上精馏塔的精馏工艺增加了剥离废液回收装置的容积，要求更大功率的真空泵与之匹配。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种剥离废液回收系统和回收方法，以解决现有技术中剥离废液回收装置所用精馏工艺含有2至4个精馏塔，建成后占地面积广，设备多，管路复杂，真空泵负荷大的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术实施例第一方面提供一种剥离废液回收系统，包括精馏塔、刮膜蒸发器、第一热交换器、第二热交换器和第三热交换器；所述精馏塔内设有汽相抽出单元；所述精馏塔还设有：精馏塔第一进口，设于所述精馏塔的中部；精馏塔第二进口，设于所述精馏塔的上部；精馏塔第三进口，设于所述精馏塔的下部；精馏塔第四进口，设于所述精馏塔的下部；精馏塔第一出口，设于所述精馏塔的顶部；精馏塔第二出口，设于所述精馏塔的底部；所述刮膜蒸发器设有刮膜蒸发器进口、刮膜蒸发器第一出口和刮膜蒸发器第二出口；所述刮膜蒸发器第一出口设于所述刮膜蒸发器的顶部；所述刮膜蒸发器第一出口与所述精馏塔第四进口连通，形成回流；所述刮膜蒸发器第二出口设于所述刮膜蒸发器的底部，用于输出重组分；所述第一热交换器设有第一冷媒进口、第一冷媒出口、第一热媒进口和第一热媒出口，所述第一冷媒进口用于通入剥离废液，所述第一冷媒出口与所述精馏塔第一进口连通，所述汽相抽出单元与所述第一热媒进口连通，所述第一热媒出口用于输出中间组分；所述精馏塔第一出口与所述第二热交换器连通后分两通路：一通路与所述精馏塔第二进口连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；所述精馏塔第二出口分两通路：一通路经所述第三热交换器与所述精馏塔第三进口连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口连通。上述剥离废液回收系统使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，能有效减小占地面积、降低真空泵负荷。剥离废液中光阻胶等重组分在精馏塔中从上往下集中，最终在刮膜蒸发器底部汇聚后流出，整个系统流程短，能有效降低光阻胶在设备和管道上附着的机率，提高剥离废液回收系统连续运转时间。优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：1)还包括第一泵和/或第一储罐，所述第一泵和/或所述第一储罐设于所述第二热交换器分两通路之前的通路上。第一泵用于将通入的流体增压后分两部分，一部分输出轻组分，另一部分回流至精馏塔。第一储罐用于缓冲、存储通入的流体。2)还包括第二泵和/或第二储罐，所述第二泵和/或第二储罐设于连接所述第一热媒出口的通路上。第二泵用于将通入的流体增压后输出中间组分。第二储罐用于缓冲、存储通入的流体。优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：a)还包括第四热交换器，所述第四热交换器设有第四热交换器气相出口和第四热交换器液相出口；所述第二热交换器设有第二热交换器气相出口和第二热交换器液相出口；所述第二热交换器气相出口与所述第四热交换器连通；所述第四热交换器液相出口与所述第二热交换器液相出口经管道合并后再分两通路或者经管道合并后再经所述第一泵和/或所述第一储罐后再分两通路；所述两通路为：一通路与所述精馏塔第二进口连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；所述第四热交换器气相出口用于输出不凝气。第二热交换器气相出口与第四热交换器连通，用于冷凝通入的流体，第二热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体。第四热交换器用于进一步冷凝通入的流体，第四热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体，冷凝后的液体可回流至精馏塔进一步精馏处理；第四热交换器气相出口用于输出不凝气，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。b)还包括第五热交换器，所述第五热交换器设有第五热交换器气相出口和第五热交换器液相出口；所述第一热媒出口设有第一热媒气相出口和第一热媒液相出口；所述第一热媒气相出口与所述第五热交换器连通；所述第五热交换器液相出口与所述第一热媒液相出口经管道合并后输出中间组分或者经管道合并后再经所述第二泵和/或所述第二储罐后输出中间组分；所述第五热交换器气相出口用于输出不凝气。第一热媒气相出口与第五热交换器连通，用于冷凝通入的流体，第一热媒液相出口用于输出冷凝后的液体。第五热交换器用于进一步冷凝通入的流体，第五热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体，冷凝后的液体为中间组分，可进一步得到回收利用；第五热交换器气相出口用于输出不凝气，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。更优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：11)特征1)中，还包括第四热交换器，所述第四热交换器设有第四热交换器气相出口和第四热交换器液相出口；所述第一储罐还设有第一储罐气相出口；所述第一储罐气相出口与所述第四热交换器连通，所述第四热交换器液相出口与所述第一储罐连通，所述第四热交换器气相出口用于输出不凝气。第一储罐用于气液分离，分离后的气相从第一储罐气相出口排出。第四热交换器用于进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可回流至精馏塔进一步精馏处理，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。第四热交换器气相出口用于输出不凝气，第四热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体。21)特征2)中，还包括第五热交换器，所述第五热交换器设有第五热交换器气相出口和第五热交换器液相出口；所述第二储罐还设有第二储罐气相出口；所述第二储罐气相出口与所述第五热交换器连通，所述第五热交换器液相出口与所述第二储罐连通，所述第五热交换器气相出口用于输出不凝气。第二储罐用于气液分离，分离后的气相从第二储罐气相出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种剥离废液回收系统，其特征在于，包括精馏塔(10)、刮膜蒸发器(20)、第一热交换器(30)、第二热交换器(40)和第三热交换器(50)；/n所述精馏塔(10)内设有汽相抽出单元(11)；所述精馏塔(10)还设有：精馏塔第一进口(12)，设于所述精馏塔(10)的中部；精馏塔第二进口(13)，设于所述精馏塔(10)的上部；精馏塔第三进口(14)，设于所述精馏塔(10)的下部；精馏塔第四进口(15)，设于所述精馏塔(10)的下部；精馏塔第一出口(16)，设于所述精馏塔(10)的顶部；精馏塔第二出口(17)，设于所述精馏塔(10)的底部；/n所述刮膜蒸发器(20)设有刮膜蒸发器进口(21)、刮膜蒸发器第一出口(22)和刮膜蒸发器第二出口(23)；所述刮膜蒸发器第一出口(22)设于所述刮膜蒸发器(20)的顶部；所述刮膜蒸发器第一出口(22)与所述精馏塔第四进口(15)连通，形成回流；所述刮膜蒸发器第二出口(23)设于所述刮膜蒸发器(20)的底部，用于输出重组分；/n所述第一热交换器(30)设有第一冷媒进口(311)、第一冷媒出口(312)、第一热媒进口(321)和第一热媒出口(322)，所述第一冷媒进口(311)用于通入剥离废液，所述第一冷媒出口(312)与所述精馏塔第一进口(12)连通，所述汽相抽出单元(11)与所述第一热媒进口(321)连通，所述第一热媒出口(322)用于输出中间组分；/n所述精馏塔第一出口(16)与所述第二热交换器(40)连通后分两通路：一通路与所述精馏塔第二进口(13)连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；/n所述精馏塔第二出口(17)分两通路：一通路经所述第三热交换器(50)与所述精馏塔第三进口(14)连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口(21)连通。/n...

【技术特征摘要】
1.一种剥离废液回收系统，其特征在于，包括精馏塔(10)、刮膜蒸发器(20)、第一热交换器(30)、第二热交换器(40)和第三热交换器(50)；
所述精馏塔(10)内设有汽相抽出单元(11)；所述精馏塔(10)还设有：精馏塔第一进口(12)，设于所述精馏塔(10)的中部；精馏塔第二进口(13)，设于所述精馏塔(10)的上部；精馏塔第三进口(14)，设于所述精馏塔(10)的下部；精馏塔第四进口(15)，设于所述精馏塔(10)的下部；精馏塔第一出口(16)，设于所述精馏塔(10)的顶部；精馏塔第二出口(17)，设于所述精馏塔(10)的底部；
所述刮膜蒸发器(20)设有刮膜蒸发器进口(21)、刮膜蒸发器第一出口(22)和刮膜蒸发器第二出口(23)；所述刮膜蒸发器第一出口(22)设于所述刮膜蒸发器(20)的顶部；所述刮膜蒸发器第一出口(22)与所述精馏塔第四进口(15)连通，形成回流；所述刮膜蒸发器第二出口(23)设于所述刮膜蒸发器(20)的底部，用于输出重组分；
所述第一热交换器(30)设有第一冷媒进口(311)、第一冷媒出口(312)、第一热媒进口(321)和第一热媒出口(322)，所述第一冷媒进口(311)用于通入剥离废液，所述第一冷媒出口(312)与所述精馏塔第一进口(12)连通，所述汽相抽出单元(11)与所述第一热媒进口(321)连通，所述第一热媒出口(322)用于输出中间组分；
所述精馏塔第一出口(16)与所述第二热交换器(40)连通后分两通路：一通路与所述精馏塔第二进口(13)连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；
所述精馏塔第二出口(17)分两通路：一通路经所述第三热交换器(50)与所述精馏塔第三进口(14)连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口(21)连通。


2.如权利要求1所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：
1)还包括第一泵(60)和/或第一储罐(70)，所述第一泵(60)和/或所述第一储罐(70)设于所述第二热交换器(40)分两通路之前的通路上；
2)还包括第二泵(80)和/或第二储罐(90)，所述第二泵(80)和/或第二储罐(90)设于连接所述第一热媒出口(322)的通路上。


3.如权利要求1或2所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：
a)还包括第四热交换器(100)，所述第四热交换器(100)设有第四热交换器气相出口(101)和第四热交换器液相出口(102)；
所述第二热交换器(40)设有第二热交换器气相出口(41)和第二热交换器液相出口(42)；
所述第二热交换器气相出口(41)与所述第四热交换器(100)连通；
所述第四热交换器液相出口(102)与所述第二热交换器液相出口(42)经管道合并后再分两通路或者经管道合并后再经所述第一泵(60)和/或所述第一储罐(70)后再分两通路；
所述两通路为：一通路与所述精馏塔第二进口(13)连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；
所述第四热交换器气相出口(101)用于输出不凝气；
b)还包括第五热交换器(110)，所述第五热交换器(110)设有第五热交换器气相出口(111)和第五热交换器液相出口(112)；
所述第一热媒出口(322)设有第一热媒气相出口(3221)和第一热媒液相出口(3222)；
所述第一热媒气相出口(3221)与所述第五热交换器(110)连通；
所述第五热交换器液相出口(112)与所述第一热媒液相出口(3222)经管道合并后输出中间组分或者经管道合并后再经所述第二泵(80)和/或所述第二储罐(90)后输出中间组分；
所述第五热交换器气相出口(111)用于输出不凝气。


4.如权利要求2所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：
11)特征1)中，还包括第四热交换器(100)，所述第四热交换器(100)设有第四热交换器气相出口(101)和第四热交换器液相出口(102)；
所述第一储罐(70)还设有第一储罐气相出口(71)；
所述第一储罐气相出口(71)与所述第四热交换器(100)连通，所述第四热交换器液相出口(102)与所述第一储罐(70)连通，所述第四热交换器气相出口(101)用于输出不凝气；
21)特征2)中，还包括第五热交换器(110)，所述第五热交换器(110)设有第五热交换器气相出口(111)和第五热交换器液相出口(112)；
所述第二储罐(90)还设有第二储罐气相出口(91)；
所述第二储罐气相出口(91)与所述第五热交换器(110)连通，所述第五热交换器液相出口(112)与所述第二储罐(90)连通，所述第五热交换器气相出口(111)用于输出不凝气。


5.如权利要求1至4任一项所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：
1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，汪哲，孙益辉，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31