垂直腔表面发出激光器制造技术

本公开提供一种垂直腔表面发出激光器(VCSEL)，其包括：下反射镜；上反射镜；活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。

【技术实现步骤摘要】
垂直腔表面发出激光器
本公开涉及一种高可靠性的垂直腔表面发出激光器。
技术介绍
垂直腔表面发出激光器(vertical-cavitysurface-emittinglaser；VCSEL)是从基板面向垂直方向发出激光束的激光器。典型的VCSEL包括布置在反射镜之间的活性层。通过反射镜注入的电子和空穴在活性层生成光，通过基于反射镜的谐振生成激光并发出。在VCSEL垂直流动的电流有必要限定在小区域，为此，一直以来所使用的是利用蚀刻以及氧化的方法。例如，蚀刻反射镜层和活性层，呈环状形成沟槽，从而形成孤立的台面(post)，利用沟槽形成氧化层，从而使电流集中在小区域的光圈(aperture)。然而，为了形成环状的沟槽，需要蚀刻宽面积而有负担。尤其，在形成焊盘电极时，连接焊盘和发射极的连接部会经过沟槽而带来可能断线的危险，由此，工艺成品率降低。另外，由于在发射极周围形成宽面积的沟槽，因此因表面缺陷而对发射极的可靠性带来不利影响。
技术实现思路
本公开的实施例提供一种高可靠性的VCSEL。尤其，本公开的实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种垂直腔表面发出激光器，其特征在于，包括：/n下反射镜；/n上反射镜；/n活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；/n光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及/n多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，/n所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，/n所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。/n

【技术特征摘要】
20181224 US 62/784,616;20191219 US 16/720,6341.一种垂直腔表面发出激光器，其特征在于，包括：
下反射镜；
上反射镜；
活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；
光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及
多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，
所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，
所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。


2.根据权利要求1所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
通过离子注入形成的绝缘区域从所述上反射镜形成为构成所述下反射镜的一部分厚度。


3.根据权利要求1所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述垂直腔表面发出激光器还包括欧姆接触层，所述欧姆接触层布置在所述上反射镜上，
所述欧姆接触层包括圆环状的圆形部分和向所述圆形部分的外侧凸出的凸出部。


4.根据权利要求3所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述圆环状是一部分切开的局部环状。


5.根据权利要求4所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述氧化孔布置在所述凸出部之间。


6.根据权利要求5所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述氧化孔分别具有比所述凸出部小的宽度。


7.根据权利要求4所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述垂直腔表面发出激光器还包括：覆盖所述欧姆接触层以及所述上反射镜的表面保护层；以及布置在所述表面保护层上的上绝缘层，
所述氧化孔贯穿所述表面保护层，
所述上绝缘层覆盖所述氧化孔。


8.根据权利要求7所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述垂直腔表面发出激光器还包括多个通孔，所述多个通孔贯穿所述上绝缘层以及所述表面保护层而使所述欧姆接触层暴露，
所述通孔与所述凸出部对应布置。


9.根据权利要求8所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述垂直腔表面发出激光器还包括布置在所述上绝缘层上的焊盘以及连接部，
所述焊盘布置在所述绝缘区域上方，
所述连接部从所述焊盘延伸并通过所述通孔与所述欧姆接触层电接通。


10.根据权利要求1所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，
所述氧化孔具有圆形或者四边形形状。


11.一种垂直腔表面发出激光器，具有发射极阵列，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李基煌，卢正来，俞炳秀，田润尚，崔功熙，
申请(专利权)人：首尔伟傲世有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国;KR