下载垂直腔表面发出激光器的技术资料

文档序号:25156114

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本公开提供一种垂直腔表面发出激光器(VCSEL),其包括:下反射镜;上反射镜;活性层,介于所述下反射镜和所述上反射镜之间;光圈形成层,介于所述上反射镜和所述活性层之间,并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层;以及多个氧化孔,贯穿所述上反射镜...
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