一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，分离装置包括热交换器和第一容器，第一容器的上端面开设有第一进气口、第一出气口、第一进液口和第一出液口，第一进气口粘接有第一球阀，第一出气口粘接有第二球阀，第二球阀与样品容器的输入端连通，热交换器与第一球阀连通，第一进液口粘接有第三球阀，第一出液口粘接有第四球阀；收集装置包括第二容器，第二容器上开设有第二出气口和第二进液口，第二出气口粘接有第五球阀，第二进液口与第四球阀远离第一出液口的一端连通，第五球阀远离第二出气口的一端与大气连通。本实用新型专利技术提供了一种操作更加简单的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。

【技术实现步骤摘要】
一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置
本技术涉及采样装置领域，尤其是一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。
技术介绍
二氯硅烷主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅，它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,二氯硅烷沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低，采用二氯硅烷在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间，因为二氯硅烷的纯度对硅的沉积速度有较大影响，所以二氯硅烷的纯度对其价格影响很大，在二氯硅烷产品出产后需要对二氯硅烷的纯度进行采样分析，二氯硅烷中的杂质包括一氯硅烷、三氯硅烷以及四氯硅烷，二氯硅烷的物理性质介于这些杂质之间，轻组分与重组分的混合会对纯度分析造成较大误差，现有的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置操作复杂，效率不高。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种操作更加简单的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。本技术的技术方案是这样实现的：一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，所述分离装置包括热交换器和第一容器，所述第一容器的上端面开设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，所述分离装置包括热交换器和第一容器，所述第一容器的上端面开设有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口固定连接有第一球阀，所述第一出气口固定连接有第二球阀，所述第二球阀远离第一出气口的一端与样品容器的输入端连通，所述热交换器的热媒出口与第一球阀远离第一进气口的一端连通，所述第一容器的侧壁上开设有第一进液口和第一出液口，所述第一进液口固定连接有第三球阀，所述第一出液口固定连接有第四球阀；所述收集装置包括第二容器，所述第二容器的上端面开设有第二出气口，所述第二出气口固定连接有第五球阀，所述第二容器的侧壁开设有第二进...

【技术特征摘要】
1.一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，所述分离装置包括热交换器和第一容器，所述第一容器的上端面开设有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口固定连接有第一球阀，所述第一出气口固定连接有第二球阀，所述第二球阀远离第一出气口的一端与样品容器的输入端连通，所述热交换器的热媒出口与第一球阀远离第一进气口的一端连通，所述第一容器的侧壁上开设有第一进液口和第一出液口，所述第一进液口固定连接有第三球阀，所述第一出液口固定连接有第四球阀；所述收集装置包括第二容器，所述第二容器的上端面开设有第二出气口，所述第二出气口固定连接有第五球阀，所述第二容器的侧壁开设有第二进液口，所述第二进液口与第四球阀远离第一出液口的一端连通，所述第五球阀远离第二出气口的一端与大气连通。


2.根据权利要求1所述的一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：于青玉，杨利，党春梅，
申请(专利权)人：浙江西亚特电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33