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本实用新型涉及一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，分离装置包括热交换器和第一容器，第一容器的上端面开设有第一进气口、第一出气口、第一进液口和第一出液口，第一进气口粘接有第一球阀，第一出气口粘接有...
该专利属于浙江西亚特电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江西亚特电子材料有限公司授权不得商用。

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