谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，该温/湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起，包括复合压电基底层、叉指换能器、反射栅阵、表面压电波导层，反射栅阵形成谐振腔，温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面压电波导层结构，在湿度传感器的表面压电波导层上方集成有纳米湿敏材料。本发明专利技术由于声表面波无源无线传感器具有非接触、无电源、抗干扰、保密性好、成本低等优点，已广泛应用于许多领域。通过使用不同工作频段的温/湿度传感器阵列，传感器阵列无需引线连接，可分布于不同的工作地点，应用不受限制，特别适合一些应用环境复杂和恶劣的场合。

【技术实现步骤摘要】
谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器
本专利技术属于环境参数检测
，尤其涉及一种可检测温度和湿度的高精度传感器。
技术介绍
温度、湿度是日常环境影响人们常生活最为密切相关的两个物理量，同时也是在科学实验和生产活动中需要测量和控制的重要物理量。温/湿度传感器是日常生活和工业生产中使用最为广泛的传感器，它可以应用到工农业生产、物流运输和管理、健康护理、医院药品存储和监管、食品质量监测、建筑结构质量监测等等众多场合。以药品的存储管理为例。GSP认证要求的药品储存条件要有药品分类保管和符合药品储存要求的库房。其中常温库温度为0～30℃，阴凉库温度不高于20℃，冷库温度为2～10℃；各库房相对湿度应保持在45～75％之间。药品储存的时候，应该根据季节的变迁和气候的变化，控制好仓库储存温度和湿度，既要保证药品存储的质量，又要遵循高效和节约以及方便安全的原则。目前工农业生产使用温/湿度传感器多为热敏电阻和湿敏电容组合使用的传感器，通常需要配线连接实现信号传输和电源供电。对于密闭和狭窄空间的温/湿度监测，这类传感器的使用对线缆配置和维护安装都带来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，其特征在于该温/湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起，包括复合压电基底层、设置在复合压电基底层上的叉指换能器(1-3)、对称分布在叉指换能器(1-3)左右两边的等间距的反射栅阵(1-4)、及设置在叉指换能器(1-3)上方的表面压电波导层(1-5)，所述反射栅阵(1-4)形成谐振腔，所述温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面压电波导层结构，在湿度传感器的表面压电波导层上方集成有纳米湿敏材料(1-6)。/n

【技术特征摘要】
1.谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，其特征在于该温/湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起，包括复合压电基底层、设置在复合压电基底层上的叉指换能器(1-3)、对称分布在叉指换能器(1-3)左右两边的等间距的反射栅阵(1-4)、及设置在叉指换能器(1-3)上方的表面压电波导层(1-5)，所述反射栅阵(1-4)形成谐振腔，所述温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面压电波导层结构，在湿度传感器的表面压电波导层上方集成有纳米湿敏材料(1-6)。


2.如权利要求1所述的谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，其特征在于复合压电基底层由厚度为100nm～10μm的叉指换能器压电层(1-2)和厚度为200μm～500μm的基底压电层(1-1)组成。


3.如权利要求2所述的谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，其特征在于所述叉指换能器压电层(1-2)选用氧化锌、氮化铝、锆钛酸铅压电陶瓷、偏聚氟乙烯中的任一材料制成，优选氧化锌；所述基底压电层(1-1)选用能够产生声表面横波的ST-90°x石英、37°y-90°x石英、41°yx-LiNbO3、36°yx-LiTaO3中的任一材料制成。


4.如权利要求1所述的谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，其特征在于叉指换能器(1-3)结构为单金属叉指换能器结构或双金属叉指换能器结构，对于双金属叉指换能器结构，两个金属叉指换能器之间有间隔，所述反射栅阵(1-4)为开路栅、短路栅和混合栅。


5.如权利要求1所述的谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器，其特征在于叉指换能器(1-3)两端设置有信号电极(1-7)和接地电极(1-8)，所述信号电极(1-7)与天线集成，接地电极(1-8)与地线连接并扩展包围整个...

【专利技术属性】
技术研发人员：伞海生，王斌，
申请(专利权)人：杭州能工科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33