下载谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器的技术资料

文档序号:25121520

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本发明公开了一种谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器,该温/湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起,包括复合压电基底层、叉指换能器、反射栅阵、表面压电波导层,反射栅阵形成谐振腔,温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面...
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