一种钛材质坩埚的洗净再生方法技术

本发明专利技术公开了一种钛材质坩埚的洗净再生方法，涉及OLED面板生产技术领域，本发明专利技术包括如下步骤:受入检查：对钛材质坩埚本体进行完整性检查，确定膜层残余量；化学药水浸泡处理；纯水冲洗清理：使用纯水冲洗药水浸泡后的钛材质坩埚本体，去除坩埚表面浮灰和杂质；预干燥处理：使用气枪吹扫经过纯水冲洗的钛材质坩埚本体表面，去除表面水分，放入干燥箱中干燥；高温烘烤处理：对预干燥处理后的钛材质坩埚本体进行高温烘烤处理；纯水浸泡作业：将经过高温烘烤处理的钛材质坩埚本体放入纯水中浸泡；烘干包装：将纯水浸泡后的钛材质坩埚本体烘干并包装待用，具有有效清理坩埚残膜同时降低坩埚损耗的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种钛材质坩埚的洗净再生方法
本专利技术属于OLED面板生产
，具体涉及一种钛材质坩埚的洗净再生方法。
技术介绍
OLED产业作为国内乃至世界范围内重点发展的显示技术，经过短短十多年的探索创新，已经堪比LED数十年的发展历程，产业化势头异常明显。OLED显示制程的关键工艺为真空蒸镀，主要是将有机材料在真空下加热，因材料特性不同，有些材料会先液化再气化或直接升华，然后以一定的初始速度脱离材料表面向外飞散，运动到衬底表面，冷却沉积下来形成一层薄膜。用于存放有机蒸镀材料的加热器就是钛材质线源坩埚，随着蒸镀制成时间的延长坩埚内有机材料不断被消耗，当坩埚内蒸镀材料无法满足成膜条件时，需要对线源坩埚进行洗净再生。现阶段坩埚内有机物残留主要通过化学药水去除，但受产品结构影响，缝隙中经常存在有机物残留现象，无法完全去除，需要进行多次药液浸泡，既浪费物力人力，也存在污染环境的风险。
技术实现思路
本专利技术的目的在于：针对现有技术钛材质坩埚部品受产品结构影响，缝隙中经常存在有机膜残留现象，对产品质量影响明显，目前采用化学液洗的方式进行有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钛材质坩埚的洗净再生方法，其特征在于,包括如下步骤:/n受入检查：对钛材质坩埚本体进行完整性检查，确定膜层残余量；/n化学药水浸泡处理：将检查无缺损的钛材质坩埚本体浸入化学药水中，去除表层残膜；/n纯水冲洗清理：使用纯水冲洗药水浸泡后的钛材质坩埚本体，去除坩埚表面浮灰和杂质；/n预干燥处理：使用气枪吹扫经过纯水冲洗的钛材质坩埚本体表面，去除表面水分，放入干燥箱中干燥；/n高温烘烤处理：对预干燥处理后的钛材质坩埚本体进行高温烘烤处理；/n纯水浸泡作业：将经过高温烘烤处理的钛材质坩埚本体放入纯水中浸泡；/n烘干包装：将纯水浸泡后的钛材质坩埚本体烘干并包装待用。/n

【技术特征摘要】
1.一种钛材质坩埚的洗净再生方法，其特征在于,包括如下步骤:
受入检查：对钛材质坩埚本体进行完整性检查，确定膜层残余量；
化学药水浸泡处理：将检查无缺损的钛材质坩埚本体浸入化学药水中，去除表层残膜；
纯水冲洗清理：使用纯水冲洗药水浸泡后的钛材质坩埚本体，去除坩埚表面浮灰和杂质；
预干燥处理：使用气枪吹扫经过纯水冲洗的钛材质坩埚本体表面，去除表面水分，放入干燥箱中干燥；
高温烘烤处理：对预干燥处理后的钛材质坩埚本体进行高温烘烤处理；
纯水浸泡作业：将经过高温烘烤处理的钛材质坩埚本体放入纯水中浸泡；
烘干包装：将纯水浸泡后的钛材质坩埚本体烘干并包装待用。


2.如权利要求1所述的钛材...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕先峰，惠朝先，向志强，李奎，
申请(专利权)人：四川富乐德科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51