脉冲激光沉积加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及脉冲激光沉积技术领域，公开了一种脉冲激光沉积加热器。所述脉冲激光沉积加热器，包括上盖、下盖和所述上盖和下盖连接形成的加热仓，还包括加热内核、加热丝、焊料部、加热电极，所述加热丝一部分埋入在所述加热内核底部焊料部内，另一部分缠绕在加热内核侧面，所述加热丝包括内层加热芯、中间氧化层和外层保护层，所述加热电极设置在所述加热仓外部且与所述加热丝电气连接。本方案通过三层结构的加热丝提升了加热器的抗氧化性能，延长了加热器的使用寿命，同时通过在加热内核侧面缠绕加热丝并在加热内核底部通过焊接埋入加热丝，使加热接触更加充分、加热温度更加均匀，提升了加热器的加热温度、加热均匀性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
脉冲激光沉积加热器
本技术涉及脉冲激光沉积
，尤其涉及一种脉冲激光沉积加热器。
技术介绍
脉冲激光沉积(PulsedLaserDeposition，PLD)技术中，基片一般要加热到700～800℃，有时甚至要加热到900～100℃，通常在脉冲激光沉积制备薄膜材料的过程中需要通入氧气，因此对于加热器的稳定性、寿命、加热温度、耐氧性提出了更高的要求。但现有脉冲激光沉积加热器的加热不太均匀，加热的温度和稳定性较差，同时加热丝容易被高温氧化而影响加热器使用寿命。
技术实现思路
鉴于此，本技术提供一种脉冲激光沉积，解决现有脉冲激光沉积加热器的加热温度和稳定性较差以及加热丝容易被高温氧化而影响使用寿命的技术问题。根据本技术的一个实施例，提供一种脉冲激光沉积加热器，包括上盖、下盖和所述上盖和下盖连接形成的加热仓，还包括加热内核、加热丝、焊料部、加热电极，所述加热丝一部分埋入在所述加热内核底部焊料部内，另一部分缠绕在所述加热内核侧面，所述加热丝包括内层加热芯、中间氧化层和外层保护层，所述加热电极设置在所述加热仓外部且与所述加热丝电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脉冲激光沉积加热器，包括上盖、下盖和所述上盖和下盖连接形成的加热仓，其特征在于，还包括加热内核、加热丝、焊料部、加热电极，所述加热丝一部分埋入在所述加热内核底部焊料部内，另一部分缠绕在所述加热内核侧面，所述加热丝包括内层加热芯、中间氧化层和外层保护层，所述加热电极设置在所述加热仓外部且与所述加热丝电气连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种脉冲激光沉积加热器，包括上盖、下盖和所述上盖和下盖连接形成的加热仓，其特征在于，还包括加热内核、加热丝、焊料部、加热电极，所述加热丝一部分埋入在所述加热内核底部焊料部内，另一部分缠绕在所述加热内核侧面，所述加热丝包括内层加热芯、中间氧化层和外层保护层，所述加热电极设置在所述加热仓外部且与所述加热丝电气连接。


2.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积加热器，其特征在于，所述加热电极到所述加热仓的距离大于4mm。


3.根据权利要求2所述的脉冲激光沉积加热器，其特征在于，所述加热电极到所述加热仓之间设置有加长杠，以控制所述加热电极到加热仓的距离。


4.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积加热器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓军，朱新华，胡凯，代瑞娜，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44