折叠空间电荷区肖特基二极管制造技术

本实用新型专利技术涉及一种折叠空间电荷区肖特基二极管，包括：衬底；绝缘层，设置于衬底的上表面；第一外延层，设置于绝缘层的上表面；第二外延层，设置于第一外延层的上表面，且与第一外延层之间形成有二维电子气；第三外延层，设置于第二外延层上；第三外延层上设置有第一凹槽；第一凹槽内填充有绝缘材料；第一金属电极，设置于第三外延层上，且设置于第一凹槽的一侧；第二金属电极，设置于第三外延层上，且设置于第一凹槽的另一侧。本实用新型专利技术通过在第三外延层上设置凹槽，并通过在第一外延层和第二外延层之间形成二维电子气，可以大幅提升微波无线能量传输系统的能量转换效率。

【技术实现步骤摘要】
折叠空间电荷区肖特基二极管
本技术属于半导体器件
，具体涉及一种折叠空间电荷区肖特基二极管。
技术介绍
无线能量传输系统(WirelessPowerTransfer,WPT)是指能够突破传输线限制在空间中输送电能的系统装置，其中以电磁波(微波波段)作为输入能量的这类特定的使用发射天线到接收天线的点对点的传播方式所构成的无线能量传输系统被称为微波无线能量传输系统(MicrowavePowerTransfer,MPT)。利用微波无线能量传输系统能够将环境中的自由电磁能转化为直流电，输送电能时，突破了传输线的限制、简单方便、灵活性强、传输距离远、减少输电线的架设，并且这种结构不需要频繁更换电池，是一种环保电源，具有非常大的应用前景。能量转换效率(整流效率)是评价微波无线能量传输系统的关键指标，其标志着微波能量转换成为直流能量的能力。目前研究人员都致力于从不同角度提高系统的转换效率，以获得更高的能量转换；比如，从接收天线、阻抗匹配结构角度进行优化提升能量转换效率，也即在选定整流二极管之后，从电路结构优化中减小整体的损耗，以便提升系统的能量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种折叠空间电荷区肖特基二极管，其特征在于，包括：/n衬底(001)；/n绝缘层(002)，设置于所述衬底(001)的上表面；/n第一外延层(003)，设置于所述绝缘层(002)的上表面；/n第二外延层(006)，设置于所述第一外延层(003)的上表面，且与所述第一外延层(003)之间形成有二维电子气(007)；/n第三外延层(008)，设置于所述第二外延层(006)的上表面；所述第三外延层(008)上设置有第一凹槽(010)；/n第一金属电极(013)，设置于所述第三外延层(008)上，且设置于所述第一凹槽(010)的一侧；/n第二金属电极(015)，设置于所述第三外延层(008)上，且...

【技术特征摘要】
1.一种折叠空间电荷区肖特基二极管，其特征在于，包括：
衬底(001)；
绝缘层(002)，设置于所述衬底(001)的上表面；
第一外延层(003)，设置于所述绝缘层(002)的上表面；
第二外延层(006)，设置于所述第一外延层(003)的上表面，且与所述第一外延层(003)之间形成有二维电子气(007)；
第三外延层(008)，设置于所述第二外延层(006)的上表面；所述第三外延层(008)上设置有第一凹槽(010)；
第一金属电极(013)，设置于所述第三外延层(008)上，且设置于所述第一凹槽(010)的一侧；
第二金属电极(015)，设置于所述第三外延层(008)上，且设置于所述第一凹槽(010)的另一侧；
所述第一凹槽(010)内填充...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳庆冬，王娅，
申请(专利权)人：西安科锐盛创新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61