一种用于插片机内部的石墨舟定位结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于插片机内部的石墨舟定位结构,属于太阳能电池技术领域中的一种石墨舟定位结构，其目的在于提供一种具有精确定位的定位结构，其技术方案为包括前定位板、设置在前定位板两侧的侧定位板、夹舟板，所述前定位板靠近侧定位板、夹舟板的一侧面设置有弹性抵杆组，所述弹性抵杆组包括水平设置的第一弹性抵杆组、第二弹性抵杆组，所述前定位板的侧面设置有滚动滑轮组，所述滚动滑轮组包括置于同一水平面的第一滚轮组、第二滚轮组；本实用新型专利技术提供一种用于插片机内部的石墨舟定位结构，使得石墨舟定位结构的定位效果更加的精准和简单，而且整体结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种用于插片机内部的石墨舟定位结构
本技术属于太阳能电池
，具体涉及一种用于插片机内部的石墨舟定位结构。
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)-等离子体增强化学气相沉积法,是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。石墨舟是石墨模具，石墨模具本身是一种载体，可以把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时成为石墨舟，也有称为石墨船的。石墨舟作为硅片载体电极，硅片必须放置在石墨舟上才能进行镀膜工艺。在硅太阳能电池制造过程中，在进行硅片表面镀膜时，首先将未镀膜的硅片插入到石墨舟中，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备(简称PECVD设备)腔体中，采用合适的PECVD工艺对硅片进行镀膜。镀膜结束后，从真空镀膜设备腔体中取出石墨舟然后再将镀膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于插片机内部的石墨舟定位结构,其特征在于：包括前定位板(1)、设置在前定位板(1)两侧的侧定位板(2)、夹舟板(3)，所述前定位板(1)靠近侧定位板(2)、夹舟板(3)的一侧面设置有弹性抵杆组(4)，所述弹性抵杆组(4)包括水平设置的第一弹性抵杆组(5)、第二弹性抵杆组(6)，所述夹舟板(3)靠近侧定位板(2)的侧面设置有弹性抵杆组B(7)，所述弹性抵杆组B(7)包括固定于弹性低杆组的螺母组(8)、第二弹性抵杆组B(9)；所述侧定位板(2)、前定位板(1)均设置有四个微动开关(10)，所述侧定位板(2)、夹舟板(3)均设置有两对光纤放大器组件(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于插片机内部的石墨舟定位结构,其特征在于：包括前定位板(1)、设置在前定位板(1)两侧的侧定位板(2)、夹舟板(3)，所述前定位板(1)靠近侧定位板(2)、夹舟板(3)的一侧面设置有弹性抵杆组(4)，所述弹性抵杆组(4)包括水平设置的第一弹性抵杆组(5)、第二弹性抵杆组(6)，所述夹舟板(3)靠近侧定位板(2)的侧面设置有弹性抵杆组B(7)，所述弹性抵杆组B(7)包括固定于弹性低杆组的螺母组(8)、第二弹性抵杆组B(9)；所述侧定位板(2)、前定位板(1)均设置有四个微动开关(10)，所述侧定位板(2)、夹舟板(3)均设置有两对光纤放大器组件(11)。


2.如权利要求1所述的一种用于插片机内部的石墨舟定位结构,其特征在于：所述侧定位板(2)靠近夹舟板(3)的上下边缘设置有接触石墨舟舟叶的软性材质条(12)，所述软性材质条(12)包括在侧定位板(2)上下两端水平设置的第一软性材质条(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，钟健，张忠文，谢毅，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51