【技术实现步骤摘要】
本专利技术是一种电子全息测量方法，采用本专利技术的测量方法在测量时不会出现直透光和共轭像。在先技术中的电子全息测量方法及特点电子全息测量技术的原理是用光敏CCD摄像机代替普通照相干板来记录被测量物体的离轴全息图，然后将所记录到的全息图用数字计算方式进行再现，得到被测量物体的真实像，由此真实像可以得到被测量物体的表面亮度分布和三维形貌分布，从而达到测量的目的。电子全息测量的突出特点是能够快速记录和再现，可用于小尺度的三维形貌测量，其分辨率在横向小于1微米，在纵向为纳米。电子全息测量技术中实际有用的只是再现像中的真实像，但全息原理决定了被测量物体的共轭像和直透光也要同时存在，且两者都以杂散光形式出现，对测量造成不良影响，特别是直透光，占据了大部分能量而在显示屏幕的中心形成一个又大又亮的亮斑，造成真实像暗淡至使细节不分，如果能将它们去除，测量精度将会大幅度提高。对于如何去除被测量物体的共轭像和直透光，在先技术中有两种不同的方法第一种是人为地令直透光和共轭像的亮度为零，从而达到将其去除的目的，这种方法的明显的缺陷是自动化程度差需要反复的试探性操作，不适应高速测量需要...
【技术保护点】
一种无直透光和共轭像的电子全息测量方法，采用离轴菲涅尔全息记录光路的装置，它包括发射平行光束的光源（１），有中心点（０）置于光源（１）发射的平行光束的光轴（Ｏ↓［２］Ｏ↓［２］）上，反射面对着光源（１）发射光束前进方向的平面反射镜（５），在光源（１）和平面反射镜（５）之间，有中心点（Ｏ′）置于光源（１）光轴（Ｏ↓［２］Ｏ↓［２］）上的正四方形棱镜（６），正四方形棱镜（６）内的半透半反面与光源（１）光轴（Ｏ↓［２］Ｏ↓［２］）成４５°角，有接收面对着而平行于光源（１）光轴（Ｏ↓［２］Ｏ↓［２］）的置于正四方形棱镜（６）的一侧，输出连接到计算机（３）上的ＣＣＤ摄像机（２），ＣＣ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘诚，戴亚平，李银柱，李良玉，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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