激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量技术领域，特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明专利技术将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体，以激光光束作为物理基准，依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律，提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置，克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量
，特别适应于超精密圆柱度测量装置。
技术介绍
现代工业，特别是国防尖端工业技术的不断发展，对回转体工件表面轮廓的测量提出了越来越高的要求。例如，在超精密加工和测量过程中，通常作为超精密机床、光刻机转台、激光直写设备及超精密测试转台等超精密装备的空气静压主轴研磨后的圆度允差已达到0.05μm，圆柱度和同轴度允差达到0.2μm/100mm～0.5μm/100mm；航天、航空等领域中广泛应用的惯性器件转子轴的圆柱度和同轴度允差为0.3μm/100mm～0.8μm/100mm，而下一代惯性器件圆柱度和同轴度允差将达到0.1μm/100mm ～0.5μm/100mm。上述所列技术指标都需经过精确测量，这就对现有圆柱度测量装置的测量精度提出了更高的要求，如圆度测量不确定度应达到0.005μm，圆柱度和同轴度测量不确定度应达到0.1μm/100mm。目前，现有的圆柱度测量装置普遍采用如图1所示的装置结构，其主要由底座23、立式主导轨运动套19、回转工作台24、测量传感器25和被测工件26组成。立式主导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，包括主导轨立柱（１６）、主导轨套（１９），其特征在于该装置还包括：　　　　平行于主导轨套（１９）运动方向的激光光束（１０）、依次放置在沿激光光束（１０）方向上的半透半反平面镜（６）、放置在主导轨套上的检测主导轨套偏移量的激光透射光束对心监测系统（４）、放置在半透半反平面镜（６）反射光束方向上的主导轨套角漂量光电检测系统（１３）构成的导轨运动误差激光透反监测系统；　　　　与主导轨立柱（１６）平行设置的副导轨立柱（１７）、其上设置副导轨套（１８）、柔性连接带（１５）通过滑轮机构（１４）连接主导轨套（１９）和副导轨套（１８）构成的主副双导轨直行系...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，赵维谦，邹丽敏，崔继文，赵熙萍，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]