一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，包括冷却箱，冷却箱的上表面后侧固定安装有后罐体，后罐体的前侧铰接有前罐体，后罐体与前罐体的内部安装有冷却壳，冷却壳包括工作腔，工作腔的圆周外表面均匀固定安装有散热片，散热片的外侧固定安装在后罐体与前罐体的圆周内表面，后罐体与前罐体的内表面固定安装有保温层，后罐体与前罐体的上表面开设有进液孔，后罐体与前罐体的后表面下端开设有出液孔。与现有技术相比，本装置能够通过冷却壳等结构，使冷却液与后罐体、前罐体的工作腔充分接触，冷却效果好、效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构
本技术涉及真空离子镀膜机
，具体为一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材，使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水进行冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机内部腔体直接接触，导致冷却速度慢，效率低，为了解决上述问题，我们提出一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，包括冷却箱，所述冷却箱的上表面后侧固定安装有后罐体，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，其特征在于：包括冷却箱(1)，所述冷却箱(1)的上表面后侧固定安装有后罐体(3)，所述后罐体(3)的前侧铰接有前罐体(4)，所述后罐体(3)与前罐体(4)的内部安装有冷却壳(2)；/n所述冷却壳(2)包括工作腔(22)，所述工作腔(22)的圆周外表面均匀固定安装有散热片(23)，所述散热片(23)的外侧固定安装在后罐体(3)与前罐体(4)的圆周内表面，所述后罐体(3)与前罐体(4)的内表面固定安装有保温层(24)，所述后罐体(3)与前罐体(4)的上表面开设有进液孔(21)，所述后罐体(3)与前罐体(4)的后表面下端开设有出液孔(25)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，其特征在于：包括冷却箱(1)，所述冷却箱(1)的上表面后侧固定安装有后罐体(3)，所述后罐体(3)的前侧铰接有前罐体(4)，所述后罐体(3)与前罐体(4)的内部安装有冷却壳(2)；
所述冷却壳(2)包括工作腔(22)，所述工作腔(22)的圆周外表面均匀固定安装有散热片(23)，所述散热片(23)的外侧固定安装在后罐体(3)与前罐体(4)的圆周内表面，所述后罐体(3)与前罐体(4)的内表面固定安装有保温层(24)，所述后罐体(3)与前罐体(4)的上表面开设有进液孔(21)，所述后罐体(3)与前罐体(4)的后表面下端开设有出液孔(25)。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，其特征在于：所述冷却箱(1)包括箱体(12)，所述箱体(12)的内部右侧固...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋泳东，
申请(专利权)人：青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37