【技术实现步骤摘要】
一种堆叠夹具
本技术涉及半导体激光器bar条镀膜用的夹具领域，尤其涉及一种堆叠夹具。
技术介绍
发光腔面镀膜是半导体激光器重要的工艺制作环节，传统工艺方法是将解理后的激光器bar条叠放在一个夹具中，露出两端的发光腔面，再将夹具放入镀膜设备中进行镀膜。由于激光器芯片尺寸小(150～300um)，且出光腔面露出范围精度要求极高(一般为10～50um)，所以对bar条堆叠后的形态要求极高，需要保证每一根bar条露出距离基本一致。常用的bar条堆叠夹具，采用吸嘴吸取bar条，从夹具口垂直自由落体进入夹具内，此方式在自由落体过程中容易发生bar条翻转，并且落下后无法控制每个bar条发光腔面露出的距离，这样会造成镀膜后一端膜溢出，或另一端没有镀膜的后果，不良的随机性太强。目前对bar条堆叠夹具的研究及改进较少，一旦堆叠位置不佳，会引起大量bar条镀膜外观及性能上的损失，影响成品率及芯片可靠性。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术之缺陷，提供了一种堆叠夹具，以保证bar条在夹具内两端露出的发光腔面距离一致。
【技术保护点】
1.一种堆叠夹具，其特征在于：包括夹具本体，所述夹具本体内设有叠放半导体激光器bar条和陪条的凹槽，所述凹槽包括支撑半导体激光器bar条和陪条的支撑面，所述支撑面沿凹槽的长度方向倾斜，堆叠夹具还包括在竖直方向上压紧堆叠后的半导体激光器bar条和陪条的压紧组件。/n
【技术特征摘要】
1.一种堆叠夹具，其特征在于：包括夹具本体，所述夹具本体内设有叠放半导体激光器bar条和陪条的凹槽，所述凹槽包括支撑半导体激光器bar条和陪条的支撑面，所述支撑面沿凹槽的长度方向倾斜，堆叠夹具还包括在竖直方向上压紧堆叠后的半导体激光器bar条和陪条的压紧组件。
2.如权利要求1所述的堆叠夹具，其特征在于：所述压紧组件包括位于凹槽内上端的上压板和调节上压板下压程度的调节组件。
3.如权利要求2所述的堆叠夹具，其特征在于：所述调节组件包括若干第一弹簧和调节第一弹簧压缩程度的若干第一力矩螺栓，所述第一弹簧和第一力矩螺栓一一对应相连，各所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：向欣，
申请(专利权)人：武汉云岭光电有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。