坩埚盖板制造技术

一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。本实用新型专利技术中的坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。

Cover plate of crucible

A crucible cover plate includes a bottom plate and a supporting plate which is fixed around the bottom plate. The bottom plate is provided with air holes. The support plate includes a plurality of support parts which are fixedly connected with the edge of the bottom plate, and two adjacent supporting parts are fixedly connected. Each supporting part is inclined connected with the bottom plate, and the included angle between each support part and the horizontal plane is less than 9 0\u00b0\u3002 The crucible cover plate in the utility model plays a good role of gas diversion through the inclined support plate, which can reduce the thermal impact force of silicon vapor on the cover plate, avoid the deformation of the cover plate, increase the service life of the cover plate, reduce the introduction of carbon impurities in the silicon ingot, and improve the silicon sheet conversion efficiency.

【技术实现步骤摘要】
坩埚盖板
本技术涉及多晶铸锭
，特别是涉及一种坩埚盖板。
技术介绍
多晶铸锭一般采用多晶铸锭炉进行制备，多晶铸锭炉热场一般包含隔热笼、加热器、碳碳保温板、热交换平台、盖板、石墨护板和石墨底板等，多晶铸锭投炉前，需将石英坩埚置于石墨底板上，装料完成后，在石英坩埚外侧装有石墨护板，投炉时，将盖板盖在石英坩埚顶部，以防止运行过程中产生的杂质落入石英坩埚内部污染硅料，影响产品质量。传统的坩埚盖板一般为平板结构，盖板紧贴石英坩埚和护板顶部，其存在如下缺点：随着多晶铸锭投炉量的增加，硅料熔化过程中，盖板容易与硅液接触及在铸锭过程中硅蒸汽的热冲击，会有大量碳杂质引入硅锭中从而降低产品品质，同时会导致盖板变形拉弧，盖板使用寿命降低，从而增加多晶铸锭辅材成本。
技术实现思路
鉴于上述状况，有必要针对现有技术中坩埚盖板容易受到热冲击容易引入杂质和致使盖板变形的问题提供一种坩埚盖板。一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述夹角为15～50°。进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述支撑部的竖直高度为20mm～100mm。进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板为正方形，所述支撑板设置四个所述支撑部，四个所述支撑部分别与所述底板的四个边缘固定连接。r>进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述导气孔位于所述底板的中心位置。进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述坩埚盖板采用碳碳纤维或石墨材料制备。进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板和所述支撑部的至少一侧面分布均匀分布有多个加强筋。进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板的一侧表面设置四个所述加强筋，且分别设置在该底板的两条中心线上，每个所述支撑部的一侧表面设置三个平行的所述加强筋，且分别垂直于与所述底板的边缘。进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板和所述支撑板一体成型。本技术中的坩埚盖板的顶部距离坩埚表面有一定的高度，可避免坩埚盖板与坩埚内的硅料接触，且，该坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。附图说明图1为本技术第一实施例中的坩埚盖板的俯视结构示意图；图2为本技术第一实施例中的坩埚盖板的剖视图；图3为本技术第三实施例中的坩埚盖板的俯视结构示意图。主要元件符号说明底板10支撑板20导气孔11支撑部21加强筋30具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供该实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1和图2，为本技术第一实施例中的坩埚盖板，其应用于多晶铸锭炉中，用于盖在石英坩埚顶部，以防止运行过程中产生的杂质落入石英坩埚内部污染硅料。该坩埚盖板采用塔层式结构，包括底板10和固定于底板10边缘的支撑板20。该底板10上开设有导气孔11，用于气体导入，防止坩埚内压强过大。该导气孔11可设置在底板10的中心位置。该底板10和支撑板20可一体成型，其可采用碳碳纤维制备，该材料具备质轻、韧性强的优点。可以理解的，在本技术的其他实施例中，该坩埚盖板还可采用石墨材料制备。该支撑板20包括分别与底板10边缘固定连接的多个支撑部21，相邻的两个支撑部21固定连接。每个支撑部21与底板10倾斜连接，且每个支撑部21与水平面之间的夹角a小于90°该坩埚盖板的形状与坩埚的形状匹配，一般铸锭炉使用的坩埚为方形结构，因此，本实施例中，该底板10可采用方形，支撑板20设置四个支撑部21，四个支撑部21分别与底板10的四个边缘固定连接。本实施例中的坩埚盖板分为底板10和支撑板20两个部分，支撑板20的四个支撑部21分别固定在底板10的四周边缘，且倾斜向下延伸。四个支撑部21与水平面具有一定的倾斜角度，该倾斜角度小于90°。在高温下，惰性气体通过导气孔11进入坩埚盖板内，并通过倾斜设置的支撑板20向四周分流，降低硅蒸汽对盖板的热冲击力。支撑部21的倾斜角度的大小影响到分流效果，本实施例中，该支撑部与水平面之间的夹角a优选为15～50°。进一步的，该支撑部21的竖直高度h为20mm～100mm，即支撑部21的下端面距离底板10的距离h为20mm～100mm。若支撑部21的高度太大不符合多晶铸锭炉的设计要求，若支撑部21的高度太小分，坩埚盖板与坩埚内液面距离太近，分流作用效果差，无法有效地降低硅蒸汽对盖板的热冲击力。本实施例中的坩埚盖板的顶部距离坩埚表面有一定的高度，可避免坩埚盖板与坩埚内的硅料接触，且，该坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。请参阅图3，为本技术第二实施例中的坩埚盖板，其与第一实施例中的坩埚盖板的结构基本相同，不同之处在于，该底板10和支撑部21的至少一侧面分布均匀分布有多个加强筋30，通过设置加强筋30，可加强该坩埚盖板的强度。加强筋30的数量和分布方式可根据具体情况进行设置，本实施例中，该底板10的外侧表面设置四个加强筋30，其分别设置在该底板10的两条中心线上。该四个加强筋30均匀分布在底板10上，通过使用最少数量的加强筋使该底板整体强度得到最大程度的增强。每个支撑部21的外侧表面设置3个平行设置的加强筋30，且分别与底板10的边缘垂直。进一步的，该加强筋30采用碳碳纤维或石墨材料制备，其可一体成型于坩埚盖板，或通过石墨铆钉、碳-碳铆钉固定在坩埚盖板上。本实施例与第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚盖板，其特征在于，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚盖板，其特征在于，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。


2.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述夹角为15～50°。


3.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述支撑部的竖直高度为20mm～100mm。


4.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述底板为正方形，所述支撑板设置四个所述支撑部，四个所述支撑部分别与所述底板的四个边缘固定连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：谭水根，龙昭钦，周建国，宋丽平，冷金标，雷鸣，周勤仁，
申请(专利权)人：晶科能源有限公司，浙江晶科能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36