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一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。...
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