一种中高温集热管外玻璃管退火炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种中高温集热管外玻璃管退火炉。所述中高温集热管外玻璃管退火炉包括底板；烘箱底座，所述烘箱底座固定安装在所述底板的顶部；烘箱盖，所述烘箱盖铰接在所述烘箱底座的顶部；推杆电机，所述推杆电机设置在所述烘箱底座的一侧；多个散热风机，多个所述散热风机固定安装在所述烘箱盖的顶部；热量再利用机构，所述热量再利用机构设置在所述底板上；过滤机构，所述过滤机构设置在所述底板上。本实用新型专利技术提供的中高温集热管外玻璃管退火炉具有可以对热气进行有效的回收利用，且可以过滤有害颗粒，减少对环境破坏的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种中高温集热管外玻璃管退火炉
本技术涉及玻璃加工
，尤其涉及一种中高温集热管外玻璃管退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有技术中存在一种中高温集热管外玻璃管退火炉，包括烘箱底座和烘箱盖，烘箱盖上端面连接有冷却循环风机，烘箱底座底部设有冷却机构，烘箱盖与烘箱底座通过旋转铰链连接，烘箱底座的左侧和右侧分别设有电动推杆，电动推杆的伸缩杆顶端与烘箱盖连接，电动推杆的壳体与烘箱底座连接，电动推杆连接有电机，通过电动推杆的伸缩杆顶端固定在烘箱盖的两侧，伸缩杆的伸缩使烘箱盖能够翻开或盖合，结构稳定，翻开角度能够超过90°，保证了烘箱盖打开后，人工在台面操作时的安全性，不仅节约了人力成本和设备成本，降低了设备总高，同时减少了设备的安全隐患，增大了设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中高温集热管外玻璃管退火炉，其特征在于，包括：/n底板；/n烘箱底座，所述烘箱底座固定安装在所述底板的顶部；/n烘箱盖，所述烘箱盖铰接在所述烘箱底座的顶部；/n推杆电机，所述推杆电机设置在所述烘箱底座的一侧；/n多个散热风机，多个所述散热风机固定安装在所述烘箱盖的顶部；/n热量再利用机构，所述热量再利用机构设置在所述底板上；/n过滤机构，所述过滤机构设置在所述底板上。/n

【技术特征摘要】
1.一种中高温集热管外玻璃管退火炉，其特征在于，包括：
底板；
烘箱底座，所述烘箱底座固定安装在所述底板的顶部；
烘箱盖，所述烘箱盖铰接在所述烘箱底座的顶部；
推杆电机，所述推杆电机设置在所述烘箱底座的一侧；
多个散热风机，多个所述散热风机固定安装在所述烘箱盖的顶部；
热量再利用机构，所述热量再利用机构设置在所述底板上；
过滤机构，所述过滤机构设置在所述底板上。


2.根据权利要求1所述的中高温集热管外玻璃管退火炉，其特征在于，所述热量再利用机构还包括第一连接管、第二连接管、汇聚盒、伸缩管、蓄水箱和导热盘管，所述第一连接管分别与多个所述散热风机相连通，所述汇聚盒固定安装在所述烘箱盖的顶部，所述第二连接管分别与所述第一连接管和所述汇聚盒相连通，所述蓄水箱固定安装在所述底板的顶部，所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡德顺，
申请(专利权)人：昆明银密光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53