一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术导电薄膜材料领域，公开了一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用。所述制备方法为：将透明基板经清洗、烘干后，在室温下通过脉冲激光沉积GZO导电薄膜，得到高性能透明导电薄膜。本发明专利技术采用了GZO作为导电薄膜材料，绿色环保；且采用单层GZO薄膜，工艺简单；并通过脉冲激光沉积制备，无需退火处理，有效降低成本。所得GZO导电薄膜具有高透过率，低粗糙度，低电阻的优点，可用于电磁器件和设备屏蔽，例如：战斗机座舱盖和海军舰艇舷窗等。

【技术实现步骤摘要】
一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用
本专利技术导电薄膜材料领域，具体涉及一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用。
技术介绍
很多电磁器件和设备，尤其是军用电磁器件和设备因为会发射或反射电磁信号，其抗干扰和屏蔽能力成为很重要指标，例如歼击机，又名战斗机，即用于在空中消灭敌机和其他飞航式空袭兵器的军用飞机。由于战斗机的座舱内部是空腔结构，各个部件是很大的反射源。外部电磁波射入座舱后，很容易经过多次反射后再多次射出座舱，形成腔体反射效应(类似角反射器)，大大提高了战机的雷达反射截面积(RCS)。而且座舱内有多种设备会主动发射电磁波，这些电磁波不但具有暴露飞机方位的信号特征，通信电波甚至有可能暴露战机作战信息，从而不仅增加了战机的等效反射面积，还有情报泄密的可能。对于现代创新作战战斗机，隐身效果是刚需，因此，给战斗机座舱盖镀上带有降低RCS效果的透明导电膜成为战斗机的必须。战斗机的座舱镀膜材料，主要分为两大类。一类采用的是氧化铟锡(ITO)导电膜，厚度为10～20nm，铟氧化物占90％，锡氧化物占10％。采用磁控溅射的方法制备的ITO膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高性能透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括如下制备步骤：/n将透明基板经清洗、烘干后，在室温下通过脉冲激光沉积GZO导电薄膜，得到高性能透明导电薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种高性能透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括如下制备步骤：
将透明基板经清洗、烘干后，在室温下通过脉冲激光沉积GZO导电薄膜，得到高性能透明导电薄膜。


2.根据权利要求1所述的一种高性能透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述透明基板是指无碱玻璃基板。


3.根据权利要求1所述的一种高性能透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述清洗是指分别用去离子水、异丙醇依次超声清洗；所述烘干是指在75～85℃温度下烘干。


4.根据权利要求1所述的一种高性能透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所述脉冲激光沉积的条件为：靶材到...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚日晖，李晓庆，宁洪龙，符晓，陈俊龙，张旭，梁宏富，梁志豪，卢宽宽，彭俊彪，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东;44