一种多头激光刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及激光刻蚀技术领域，具体公开了一种多头激光刻蚀设备。该多头激光刻蚀设备包括激光器、导光系统、多个六自由度平台和位置检测机构，激光器能够发射激光；多个激光头分别与激光器连通，用于刻蚀待刻蚀件；六自由度平台与激光头一一对应设置，并位于激光头的下方，六自由度平台用于承载待刻蚀件，并能够调节待刻蚀件的位置；位置检测机构与激光头一一对应设置，并位于激光头的一侧，能够检测待刻蚀件的位置。本实用新型专利技术提供的多头激光刻蚀设备通过位置检测机构可以检测多个六自由度平台上承载的PI膜与激光器的相对位置是否一致，若位置不一致，则通过相应的六自由度平台调节PI膜的位置。

【技术实现步骤摘要】
一种多头激光刻蚀设备
本技术涉及激光刻蚀
，尤其涉及一种多头激光刻蚀设备。
技术介绍
太阳能电池是日前广泛应用的一种清洁能源，太阳能电池包括太阳能栅线，太阳能栅线的制造方法是，在编织丝网上贴PI膜，然后用激光刻蚀设备在PI膜上刻蚀所需栅格。单头激光刻蚀设备效率低，因此，现有技术中的刻蚀设备上设置有多个激光头。刻蚀设备还包括载物台，多个待刻蚀的PI膜依次放置于载物台上，一个激光头对应一个PI膜进行刻蚀，即刻蚀设备可以同时刻蚀多个PI膜，从而提高工作效率。现有技术的缺陷在于：需要工作人员手动将待刻蚀的PI膜依次放置于载物台上，导致PI膜与激光头的相对位置存在不一致性，最终导致栅格错位和加工后的PI膜不合格。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多头激光刻蚀设备，以提高PI膜与激光头的相对位置的一致性，避免栅格错位，提高加工后的PI膜的合格率。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种多头激光刻蚀设备，包括：激光器，所述激光器能够发射激光；多个激光头，多个所述激光头分别与所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多头激光刻蚀设备，其特征在于，包括：/n激光器(1)，所述激光器(1)能够发射激光；/n多个激光头(3)，多个所述激光头(3)分别与所述激光器(1)连通，用于刻蚀待刻蚀件；/n多个六自由度平台(4)，所述六自由度平台(4)与所述激光头(3)一一对应设置，并位于所述激光头(3)的下方，所述六自由度平台(4)用于承载所述待刻蚀件，并能够调节所述待刻蚀件的位置；/n多个位置检测机构(5)，所述位置检测机构(5)与所述激光头(3)一一对应设置，并位于所述激光头(3)的一侧，能够检测所述待刻蚀件的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种多头激光刻蚀设备，其特征在于，包括：
激光器(1)，所述激光器(1)能够发射激光；
多个激光头(3)，多个所述激光头(3)分别与所述激光器(1)连通，用于刻蚀待刻蚀件；
多个六自由度平台(4)，所述六自由度平台(4)与所述激光头(3)一一对应设置，并位于所述激光头(3)的下方，所述六自由度平台(4)用于承载所述待刻蚀件，并能够调节所述待刻蚀件的位置；
多个位置检测机构(5)，所述位置检测机构(5)与所述激光头(3)一一对应设置，并位于所述激光头(3)的一侧，能够检测所述待刻蚀件的位置。


2.根据权利要求1所述的多头激光刻蚀设备，其特征在于，所述六自由度平台(4)的上端连接有吸附平台(6)，所述吸附平台(6)与真空器连通，能够吸附待刻蚀件。


3.根据权利要求1所述的多头激光刻蚀设备，其特征在于，所述激光头(3)的下侧连接有吸尘机构(7)，所述吸尘机构(7)能够吸附粉尘。


4.根据权利要求1所述的多头激光刻蚀设备，其特征在于，所述多头激光刻蚀设备还包括能够传导所述激光的导光系统，所述导光系统的一端与所述激光器(1)连通，多个所述激光头(3)分别与所述导光系统连通；
多个所述激光头(3)沿第一方向间隔设置，所述导光系统包括：
总路(21)，所述总路(21)的一端与所述激光器(1)连接，所述总路(21)的长度方向与所述第一方向平行；
多个分路(22)，多个所述分路(22)平行设置，并分别与所述总路(21)垂直连接，所述分路(22)与所述激光头(3)连接。


5.根据权利要求4所述的多头激光刻蚀设备，其特征在于，所述导光系统还包括中间连接路，所述中间连接路包括垂直连接的第一支路(23)和第二支路(24)，且所述第一支路(23)与所述分路(22)平行，所述第二支路(24)与所述总路(21)平行，所述第一支路(23)的一端与所述总路(21)...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙杰，张璞，梁庆文，
申请(专利权)人：苏州铂煜诺自动化设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32