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本实用新型涉及激光刻蚀技术领域，具体公开了一种多头激光刻蚀设备。该多头激光刻蚀设备包括激光器、导光系统、多个六自由度平台和位置检测机构，激光器能够发射激光；多个激光头分别与激光器连通，用于刻蚀待刻蚀件；六自由度平台与激光头一一对应设置，并位...
该专利属于苏州铂煜诺自动化设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州铂煜诺自动化设备科技有限公司授权不得商用。

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