探针自我校正系统及其方法技术方案

一种探针自我校正方法，其步骤包含有：更换一探针卡，该探针卡具有至少一探针，该探针具有一针尖；采集一水平位置图像，一图像采集单元采集该探针卡的水平位置图像，该水平位置图像具有至少一针尖的图像；计算水平差异量，由一控制单元计算该水平位置图像中的该针尖的水平差异量，该控制单元具有该探针卡更换前的该探针卡的位置参数，该位置参数包含一水平位置参数及一垂直位置参数；以及补正水平测量位置，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的水平测量位置。

【技术实现步骤摘要】
探针自我校正系统及其方法
一种探针自我校正系统及其方法，尤指一种能够透过图像，而得出差异量，藉以补正探针卡的测量位置的系统及其方法。
技术介绍
于半导体产业中，芯片、晶圆或面板于制程中需要经过多个阶段的电性检测。现有的电性检测方式，其利用具有探针卡的检测机台对承放在一载台上之面板、芯片或晶圆进行检测。于检测时，探针卡的探针之针尖接触待测物之待测位置，并将检测结果回传给检测机台之控制单元，以使控制单元依据检测结果，进而判断待测物是否为良品或劣品。然探针卡经过一段时间使用后，探针难免会有变形或毁损的问题，所以业界的作法是直接更换探针卡。因机械加工制造之因素，因此任二个规格相同的探针卡，于微观角度下，二者之尺寸仍是有细微差异，故新的探针卡则要以人工进行探针位置校正，以及探针与产品的位置校正。上述的校正皆以人工进行，因此所耗费的时间成本极高，而且精准度较差。所以能提高精准度与降低时间成本的位置校正之装置或方法就有可讨论的空间。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术主要目的在于，提出一种探针自我校正方法及其系统，其透过所采集的图像，而得出垂直差异量或水平差异量，再将垂直差异量或水平差异量结合垂直位置参数或水平位置参数，而得出补正后的垂直位置参数或水平位置参数，进而补正探针卡的垂直测量位置或水平测量位置，并能达到降低时间成本与提升精准度的效果。为达上述目的，本专利技术所提出的一种探针自我校正方法，其步骤包含有：更换一探针卡，该探针卡具有至少一探针，该探针具有一针尖；>采集一水平位置图像，一图像采集单元采集该探针卡的水平位置图像，该水平位置图像具有至少一针尖的图像；计算水平差异量，由一控制单元计算该水平位置图像中的该针尖的水平差异量，该控制单元具有该探针卡更换前的该探针卡的位置参数，该位置参数包含一水平位置参数及一垂直位置参数；以及补正水平测量位置，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的水平测量位置。于一实施例，该水平位置参数包含有X轴向位置参数、Y轴向位置参数或角度位置参数；该水平差异量包含X轴向位置差异量、Y轴向位置差异量或角度位置差异量。于一实施例，更包含有一计算垂直差异量之步骤，该控制单元控制该探针卡于垂直方向接近一称重传感器，若侦测到该称重传感器的数值有变化，则判断该探针接触到该称重传感器，该控制单元据以计算出该探针的垂直差异量。或者该控制单元控制该探针卡于垂直方向接近一基准垫，且该图像采集单元对该针尖进行图像采集，并将图像传输给该控制单元，当该控制单元侦测该针尖于水平方向有相对位移时，判断该针尖已接触基准垫，该控制单元计算此刻垂直位置相对该垂直位置参数的差值而成为一垂直差异量。本专利技术复提出一种探针自我校正系统，其应用于至少一探针卡，该探针自我校正系统包含有：一载台；一控制单元；一移动单元，其设于该载台，该移动单元电性连接该控制单元，且受控于该控制单元而可移载该探针卡；以及一图像采集单元，其电性连接该控制单元，并采集该探针卡的探针的图像。综合上述，本专利技术的本专利技术的探针自我校正系统及其方法，其利用图像采集单元采集探针卡的探针的针尖之图像，控制单元依据该图像，而得出水平差异量与垂直差异量，再藉由水平差异量或垂直差异量，以补正水平位置参数或垂直位置参数。藉以无须使用产品作为基准片，以进行位置校正。同时，亦可无须人工进行探针位置校正。所以本专利技术能够达到提高精准度与降低时间成本的优点。附图说明图1是本专利技术的一种探针自我校正系统之示意图。图2是一基准标记之示意图。图3是本专利技术的一种探针自我校正方法之流程图。附图标记的说明：10-载台；100-称重传感器或基准垫；11-控制单元；12-移动单元；13-图像采集单元；130-基准标记；14-探针卡；140-探针；141-针尖；S1～S6-步骤。具体实施方式请配合参考图1所示，本专利技术是一种探针自我校正系统，其包含有一载台10、一控制单元11、一移动单元12与至少一图像采集单元13。载台10具有一称重传感器或基准垫100。载台10可用以承载一待测件，待测件可为一芯片、一晶圆或一面板。移动单元12设置于载台10。移动单元12电性连接控制单元11。移动单元12供至少一探针卡14设置。探针卡14具有至少一探针140。各探针140具有至少一针尖141。控制单元11可控制移动单元12动作进而移载探针卡14。图像采集单元13电性连接控制单元11，并位于移动单元12的上方、一侧或下方的位置，该位置是依据实际需求而调整。请配合参考图2所示，图像采集单元13尚包括有一基准标记130，于采集图像时可将基准标记130同时纳入图像中。基准标记130可为一十字线或一基准标点。上述的载台10、移动单元12、探针卡14、探针卡14上之针尖141、图像采集单元13的各部件相互之间的位置关系(位置参数)于初始设定完成后即储存于控制单元11，因而移动单元12可移载探针卡14于空间中相对载台10运动，亦即探针卡14可相对载台10作平移或旋转。请配合参考图3所示，本专利技术是一种探针自我校正方法，其步骤包含有：步骤S1，更换一探针卡。将原位于移动单元12，并经过一段使用时间的探针卡14取下，并更换一新的探针卡14。探针卡14具有至少一探针140。各探针140具有至少一针尖141。由于载台10、移动单元12及图像采集单元13的部件未有变动，而其相互的位置关系仍保持不变；但，因更换另一探针卡14，使得更换后探针卡14与移动单元12的位置关系产生变动而需要校正。若更进一步说明是上述的载台10、移动单元12及图像采集单元13的各部件之间的相互位置关系，若在更换探针卡14的过程中有因人为所致之变动，此时可利用控制单元11透过一初始化之作业而再重新找回载台10、移动单元12及图像采集单元13的相互位置关系。步骤S2，采集一水平位置图像。位于移动单元12上方、一侧或下方的图像采集单元13是采集探针卡14的探针140的水平位置图像。水平位置图像包含有至少一针尖141的图像。图像采集单元13将水平位置图像传送给控制单元11。请配合参考图2所示，水平位置图像包含有一基准标记130，水平差异量为水平位置图像中针尖141与基准标记130的位置差异量。基准标记130可为一十字线或一基准标点。举例而言，控制单元11依更换前的探针卡14所对应的位置参数来控制移动单元12移载更换后的探针卡14至已知位置关系之一参考点，此时由图像采集单元13所采集之图像即如图2所示，基准标记130是更换前探针卡14的探针140的针尖141所预期应该出现的位置，然而在更换后的探针卡14的探针140的针尖141位置与基准标记130已有明显的差异量。另外，本专利技术不限制先更换探针卡14后再控制其移动至参考点，且上述的参考点是一个已知各部件位置关系之预定位置，于参考点的位置上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针自我校正方法，其步骤包含有：/n更换一探针卡，该探针卡具有至少一探针，该探针具有一针尖；/n采集一水平位置图像，一图像采集单元采集该探针卡的水平位置图像，该水平位置图像具有至少一针尖的图像；/n计算水平差异量，由一控制单元计算该水平位置图像中的该针尖的水平差异量，该控制单元具有该探针卡更换前的该探针卡的位置参数，该位置参数包含一水平位置参数及一垂直位置参数；以及/n补正水平测量位置，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的水平测量位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针自我校正方法，其步骤包含有：
更换一探针卡，该探针卡具有至少一探针，该探针具有一针尖；
采集一水平位置图像，一图像采集单元采集该探针卡的水平位置图像，该水平位置图像具有至少一针尖的图像；
计算水平差异量，由一控制单元计算该水平位置图像中的该针尖的水平差异量，该控制单元具有该探针卡更换前的该探针卡的位置参数，该位置参数包含一水平位置参数及一垂直位置参数；以及
补正水平测量位置，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的水平测量位置。


2.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其中该水平位置参数包含有X轴向位置参数、Y轴向位置参数或角度位置参数；该水平差异量包含X轴向位置差异量、Y轴向位置差异量或角度位置差异量。


3.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其更包含有一计算垂直差异量之步骤，该控制单元控制该探针卡于垂直方向接近一称重传感器，若侦测到该称重传感器的数值有变化，则判断该探针接触到该称重传感器，该控制单元据以计算出该探针的垂直差异量。


4.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其更包含有一计算垂直差异量之步骤，该控制单元控制该探针卡于垂直方向接近一基准垫，且该图像采集单元对该针尖进行图像采集，并将图像传输给该控制单元，当该控制单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：李茂杉，余昱熙，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71