【技术实现步骤摘要】
Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法
本申请涉及一种非晶合金薄膜的表面改性方法，具体涉及一种Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法。
技术介绍
非晶合金有别于传统的金属材料，其内部原子排列结构呈无序状态，由于这种复杂的结构特征，其内不存在晶体材料中的缺陷，使其韧性好、强度高，同时具有优异的防腐耐磨性能，逐渐成为航空航天，医疗器械和电子产品备受瞩目的新型材料，非晶合金薄膜继承了同成分块体非晶的特性，亦具有很高的硬度和延展性，随着电子科技的发展，非晶合金薄膜成为微机电系统的研究热潮。非晶合金可以被制备成一种磁性薄膜，主要应用在微机电系统中往往是起钝化膜保护作用和磁记录薄膜介质，因而如何提高这种成分薄膜的硬度和耐磨性成为延长产品寿命的关键。
技术实现思路
一种Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法包括如下步骤：将靶材安装至磁控溅射设备的靶头，所述靶材包含Fe、Nb和B元素；将实验衬底安置于所述基板的板面；调整所述基板的位置使所述实验衬底朝向所述靶头；安装所述基板以使所述实...
【技术保护点】
1.一种Fe
【技术特征摘要】
1.一种Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法，其特征在于：
所述方法包括如下步骤：
将靶材安装至磁控溅射设备靶头，所述靶材包含Fe、Nb和B元素；
将实验衬底粘于所述基板的板面；
调整所述加热样品台的位置使其朝向所述靶头；
安装所述基板以使所述衬底朝向所述靶头；
加热所述基板使其温度达到第一预设温度；
使所述靶材和基板处于预设气氛状态；
使所述靶头通电；
使所述靶材以预设溅射状态向所述基板进行溅射。
2.根据权利要求1所述的Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法，其特征在于：
所述靶材选用相同原子比的Fe70Nb10B20合金材料。
3.根据权利要求2所述的Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法，其特征在于：
所述靶材为圆柱形，其直径的取值范围48mm至50mm。
4.根据权利要求3所述的Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法，其特征在于：
所述靶材的厚...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾延东，马昕迪，耿川，王刚，易军，黄波，翟启杰，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：上海;31
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