片状放大器洁净控制结构和方法技术

一种片状激光放大器洁净控制结构和方法，包括进气装置和吸气装置，采用“主动吸气+被动进气+主动进气”相结合的方式，实现放大器腔体内的洁净控制。本发明专利技术具有构思巧妙，简单易行，相对于片状放大器传统洁净控制方法降低了片状放大器腔体的密封性，减少了耗气量。

【技术实现步骤摘要】
片状放大器洁净控制结构和方法
本专利技术涉及高功率放大器，特别是一种片状激光放大器洁净控制结构和方法。
技术介绍
片状放大器作为高功率激光装置能量放大的关键环节，提供了99％以上的能量，随着高功率激光装置能量的不断提升，因此对其工作条件提出了极其严格的要求，放大器腔体要保持在洁净度为百级的工作环境。目前，片状放大器洁净控制大都采用腔体高压充气和排气，这种高压充排气方法存在一定问题：首先，采用的是高压充气和排气，对放大器腔体的密封性提出了较高的要求；其次，由于放大器腔体特殊的结构设计，充排气过程中放大器密闭腔体内容易造成湍流，进而造成密闭腔体内的污染物很难短时间并且一次性排出，所以常用的手段是加大吹排气时间(30分钟及以上)，或者实施间歇性多次吹排气(总耗时25分钟以上)等，这些常用的手段存在吹扫时间长、耗气量多、对放大器密封性要求高等缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决上述现有技术的问题，提出一种片状放大器洁净控制结构和方法。采用“主动吸气+被动进气+主动进气”相结合的方式，实现放大器腔体内的洁净控制。该结构和方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种片状放大器洁净控制结构，其特征在于，包括进气装置(3)和吸气装置(10)：/n所述的进气装置(3)包括气源(1)、开关A(2)、进气管(4)和进气室(5)，所述的气源(1)通过所述的进气管(4)和所述的进气室(5)相连，在所述的进气管(4)上设置所述的开关A(2)，所述的进气室三角形底板沿着边线分布有进气口；/n所述的吸气装置(10)包括吸气室(6)、吸气管(7)、开关B(9)和抽气机(8)，所述的抽气机(8)通过所述的吸气管(7)与所述的吸气室(6)相连，在所述的吸气管(7)上设置所述的开关B(9)，所述的吸气室(6)的三角形底板沿着边线分布有吸气口，并且该吸气口与进气室三角形底板上...

【技术特征摘要】
1.一种片状放大器洁净控制结构，其特征在于，包括进气装置(3)和吸气装置(10)：
所述的进气装置(3)包括气源(1)、开关A(2)、进气管(4)和进气室(5)，所述的气源(1)通过所述的进气管(4)和所述的进气室(5)相连，在所述的进气管(4)上设置所述的开关A(2)，所述的进气室三角形底板沿着边线分布有进气口；
所述的吸气装置(10)包括吸气室(6)、吸气管(7)、开关B(9)和抽气机(8)，所述的抽气机(8)通过所述的吸气管(7)与所述的吸气室(6)相连，在所述的吸气管(7)上设置所述的开关B(9)，所述的吸气室(6)的三角形底板沿着边线分布有吸气口，并且该吸气口与进气室三角形底板上进气口的大小、形状和位置相同；所述的进气装置(3)通过所述的进气室(5)的三角形底板与待洁净的片状放大器的腔体的顶部相连，该待洁净的片状放大器的腔体的底部通过所述的吸气室(6)的三角形底板与所述的吸气装置(10)相连。


2.根据权利要求1所述的片状放大器洁净控制结构，其特征在于所述的进气口或出气口既可以是直径为φD的、均匀分布的圆形孔(5mm≤D≤15mm)，其中心线与对应边线的距离为D1(D1≤10mm)，也可以是条形进气口，长条宽度为...

【专利技术属性】
技术研发人员：李养帅，朱健强，马伟新，周申蕾，张艳丽，王冰艳，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31