一种电子显微镜翻盖式样品台制造技术

技术编号:24960166 阅读:24 留言:0更新日期:2020-07-18 03:08
本实用新型专利技术公开了一种电子显微镜翻盖式样品台,包括样品座、翻盖片和连接轴;所述翻盖片通过连接轴和样品座构成可转动相连接;所述翻盖片上设有电极压片;所述电极压片数量为4,且轴对称设置;所述翻盖片居中设有一个直径为5~20mm的通孔;所述样品座上设有顶起杆。本实用新型专利技术最有益的效果是提高了芯片固定工作的效率,降低了芯片对位的难度,提高了芯片使用的安全性,降低了电子显微镜受到样品污染的危险。并起到了给特殊芯片的电极通电的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种电子显微镜翻盖式样品台
本技术涉及透射电子显微镜辅助配件
,尤其涉及一种用于透射电子显微镜的电子显微镜翻盖式样品台。
技术介绍
目前透射电子显微镜的样品台固定样品的方式为普通的夹紧机构,较为简单,但对于光滑的样品芯片,此种固定方式存在风险,样品芯片若不小心掉落入本身造价昂贵电子显微镜的内部,那将造成重大损失。并且普通的夹紧方式采用肉眼观察的方式固定芯片,无法将芯片的观察孔精确的对上电子束,在微观几纳米的世界里,将造成对位困难观测困难等问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电子显微镜翻盖式样品台,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:电子显微镜翻盖式样品台,包括样品座、翻盖片和连接轴;所述翻盖片通过连接轴和样品座构成可转动相连接;所述翻盖片上设有电极压片;所述电极压片数量为4,且轴对称设置;所述翻盖片居中设有一个直径为5~20mm的通孔;所述样品座上设有顶起杆;所述顶起杆设有4个;所述顶起杆与所述样品座呈168°角安装,所述顶起杆成J字形,如此设置方便对芯片的拆卸。...

【技术保护点】
1.一种电子显微镜翻盖式样品台,其特征在于,包括:/n样品座,用于盛放芯片;/n翻盖片,与所述样品座可转动连接,用于对芯片进行固定和接通电路;及/n连接轴,插设于所述样品座和翻盖片上,用于为所述翻盖片转动提供旋转支点;其中,所述翻盖片上设有电极压片,电极压片数量为4,且轴对称设置于翻盖片的四个端点,电极压片为带有弧形金属片,翻盖片居中设有一个直径为5~20mm的通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜翻盖式样品台,其特征在于,包括:
样品座,用于盛放芯片;
翻盖片,与所述样品座可转动连接,用于对芯片进行固定和接通电路;及
连接轴,插设于所述样品座和翻盖片上,用于为所述翻盖片转动提供旋转支点;其中,所述翻盖片上设有电极压片,电极压片数量为4,且轴对称设置于翻盖片的四个端点,电极压片为带有弧形金属片,翻盖片居中设有一个直径为5~20mm的通孔。


2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖洪钢
申请(专利权)人:厦门超新芯科技有限公司
类型:新型
国别省市:福建;35

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