一种双模式传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种双模式传感器，属于柔性电子领域。该双模式传感器，包括压电层和压阻层；所述压电层由具有微结构的压电复合薄膜，以及喷涂在复合薄膜上金电极构成；所述压阻层由喷涂在具有微结构的金电极表面的石墨烯薄膜和喷涂在具有微结构的PDMS表面的石墨烯薄膜构成；所述微结构为正四棱台微阵列。该双模式传感器根据压阻电流值进行静态力的检测和电压脉冲值检测高频动态信号，从而实现单模式传感器无法实现的功能。在对物体的弯曲应变检测中，同样可以结合双模式传感器中压电层和压阻层的传感性能特点，获得更多的应变信息。在测试过程中，双模式传感器能同时感知试样的弯曲应变的大小、方向以及应变速率。

【技术实现步骤摘要】
一种双模式传感器
本技术属于柔性电子领域，尤其涉及一种压电/压阻双模式传感器。
技术介绍
近年来，随着人工智能和物联网的快速发展，人们对智能终端的需求也越来越高，柔性智能电子设备作为新兴产品受到越来越多的追捧，而作为其核心部件之一的柔性压力传感器也逐渐成为了研究热点。相对于传统的刚性传感器，柔性压力传感器由于刚度小，变形大等特点可以适用于人体及多种复杂工作环境。将柔性压力传感器集成在可穿戴电子设备或做为电子皮肤直接贴在人体表面可以进行人体运动姿态的有效测量，结合远程信息传输和及时通讯的功能，未来可能实现远程的医疗诊断、健康监测及预防跌倒报警等功能。智能机器人领域的发展也离不开柔性传感器技术，其感知功能是它与外界信息交流的纽带，智能机器人的皮肤应该像人的皮肤一样柔软，可包覆复杂的结构，能够感知外界压力的刺激。此外，柔性压力传感器一般很薄，容易在狭小工作空间贴敷于工件表面，通过传感器阵列可以检测复杂形状表面的压力分布在精密加工领域也有着广泛的应用前景。压阻式传感器对微小的压力具有非常敏感的响应特性，但是在保持高的灵敏度时，线性检测区间较小，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双模式传感器，其特征在于，包括压电层和压阻层；所述压电层由具有微结构的压电复合薄膜，以及喷涂在复合薄膜上金电极构成；所述压阻层由喷涂在具有微结构的金电极表面的石墨烯薄膜和喷涂在具有微结构的PDMS表面的石墨烯薄膜构成；所述微结构为正四棱台微阵列，所述正四棱台的上底面边长和下底面边长的比值k与阵列高度h满足：/n

【技术特征摘要】
1.一种双模式传感器，其特征在于，包括压电层和压阻层；所述压电层由具有微结构的压电复合薄膜，以及喷涂在复合薄膜上金电极构成；所述压阻层由喷涂在具有微结构的金电极表面的石墨烯薄膜和喷涂在具有微结构的PDMS表面的石墨烯薄膜构成；所述微结构为正四棱台微阵列，所述正四棱台的上底面边长和下底面边长的比值k与阵列高度h满足：



其中，为第一变量，具体为


为第...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴化平，王有岩，裘烨，王怡超，孔琨，蒋正扬，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33