玻璃基板的尺寸测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的尺寸测量装置。玻璃基板(G)的尺寸测量装置(1)具备：浮台(2)，其向水平姿态的玻璃基板(G)的下表面喷出气体，从而以使玻璃基板(G)浮起的状态对该玻璃基板(G)支承；以及拍摄元件(4)，其对玻璃基板(G)进行拍摄，通过拍摄元件(4)来拍摄包含浮台(2)上的玻璃基板(G)的测量点(P)在内的图像数据，从图像数据获取测量点(P)的坐标，并基于测量点(P)的坐标来计算玻璃基板(G)的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的尺寸测量装置
本技术涉及玻璃基板的尺寸测量装置的技术。
技术介绍
以往，已知在平板显示器(FPD)用的玻璃基板的制造时进行玻璃基板的尺寸测量的技术。例如如专利文献1记载。专利文献1中公开了一种测量玻璃基板的纵横尺寸及四角的直角度等的形状测量装置。形状测量装置通过在玻璃基板的外周部的测量点处对玻璃基板的边缘位置进行拍摄，并对拍摄到的图像进行图像处理，从而计算边缘位置的坐标。接着，形状测量装置基于边缘位置的坐标，来计算玻璃基板的纵横尺寸及四角的直角度等。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-205724号公报
技术实现思路
技术要解决的课题但是，上述的形状测量装置构成为，为了进行尺寸测量而需要将玻璃基板搬运到玻璃检查台上，离线进行尺寸测量。在离线的尺寸测量中，由于玻璃检查台接触支承玻璃基板、作业人员触摸玻璃基板，从而在玻璃基板上产生划痕、污点。另外，伴随着近年来的玻璃基板的大型化，在向玻璃检查台上搬运的中途，玻璃基板与周围物体触碰的可能性变高。因此，尺寸测量成为有损检查。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板的尺寸测量装置，其具备：/n浮台，其向水平姿态的玻璃基板的下表面喷出气体，从而以使该玻璃基板浮起的状态对该玻璃基板进行支承；以及/n拍摄元件，其对所述玻璃基板进行拍摄，/n所述玻璃基板的尺寸测量装置的特征在于，/n通过所述拍摄元件来拍摄包含所述浮台上的所述玻璃基板的测量点在内的图像数据，从所述图像数据获取所述测量点的坐标，并基于所述测量点的坐标来计算所述玻璃基板的尺寸。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的尺寸测量装置，其具备：
浮台，其向水平姿态的玻璃基板的下表面喷出气体，从而以使该玻璃基板浮起的状态对该玻璃基板进行支承；以及
拍摄元件，其对所述玻璃基板进行拍摄，
所述玻璃基板的尺寸测量装置的特征在于，
通过所述拍摄元件来拍摄包含所述浮台上的所述玻璃基板的测量点在内的图像数据，从所述图像数据获取所述测量点的坐标，并基于所述测量点的坐标来计算所述玻璃基板的尺寸。


2.根据权利要求1所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述玻璃基板的尺寸测量装置还具备对所述玻璃基板进行定位的定位装置，
所述定位装置在5个部位与矩形板状的玻璃基板抵接来进行定位。


3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
对矩形板状的玻璃基板设置8个部位的测量点。


4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述拍摄元件是显微镜。


5.根据权利要求3所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述玻璃基板的尺寸测量装置兼作为缺陷内容确定装置，该缺陷内容确定装置根据由所述拍摄元件拍摄的图像数据来确定所述玻璃基板的缺陷的内容。


6.根据权利要求5所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述玻璃基板的尺寸测量装置还具备缺陷位置确定装置，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上厚司，植村弥浩，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP