玻璃基板的尺寸测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的尺寸测量装置。玻璃基板(G)的尺寸测量装置(1)具备：浮台(2)，其向水平姿态的玻璃基板(G)的下表面喷出气体，从而以使玻璃基板(G)浮起的状态对该玻璃基板(G)支承；以及拍摄元件(4)，其对玻璃基板(G)进行拍摄，通过拍摄元件(4)来拍摄包含浮台(2)上的玻璃基板(G)的测量点(P)在内的图像数据，从图像数据获取测量点(P)的坐标，并基于测量点(P)的坐标来计算玻璃基板(G)的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的尺寸测量装置
本技术涉及玻璃基板的尺寸测量装置的技术。
技术介绍
以往，已知在平板显示器(FPD)用的玻璃基板的制造时进行玻璃基板的尺寸测量的技术。例如如专利文献1记载。专利文献1中公开了一种测量玻璃基板的纵横尺寸及四角的直角度等的形状测量装置。形状测量装置通过在玻璃基板的外周部的测量点处对玻璃基板的边缘位置进行拍摄，并对拍摄到的图像进行图像处理，从而计算边缘位置的坐标。接着，形状测量装置基于边缘位置的坐标，来计算玻璃基板的纵横尺寸及四角的直角度等。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-205724号公报
技术实现思路
技术要解决的课题但是，上述的形状测量装置构成为，为了进行尺寸测量而需要将玻璃基板搬运到玻璃检查台上，离线进行尺寸测量。在离线的尺寸测量中，由于玻璃检查台接触支承玻璃基板、作业人员触摸玻璃基板，从而在玻璃基板上产生划痕、污点。另外，伴随着近年来的玻璃基板的大型化，在向玻璃检查台上搬运的中途，玻璃基板与周围物体触碰的可能性变高。因此，尺寸测量成为有损检查。本技术的课题在于，提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的测量装置。用于解决课题的方案本技术要解决的课题如上，以下说明解决该课题的方案。即，本技术的玻璃基板的尺寸测量装置具备：浮台，其向水平姿态的玻璃基板的下表面喷出气体，从而以使该玻璃基板浮起的状态对该玻璃基板进行支承；以及拍摄元件，其对所述玻璃基板进行拍摄，其中，优选的是，通过所述拍摄元件来拍摄包含所述浮台上的所述玻璃基板的测量点在内的图像数据，从所述图像数据获取所述测量点的坐标，并基于所述测量点的坐标来计算所述玻璃基板的尺寸。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，能够以浮台及拍摄元件与玻璃基板不接触的状态进行尺寸测量。因此，能够实现无损检查的尺寸测量。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，所述玻璃基板的尺寸测量装置还具备对所述玻璃基板进行定位的定位装置，所述定位装置在5个部位与矩形板状的玻璃基板抵接来进行定位。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，由于定位装置能够分别与玻璃基板的端面抵接，因此能够可靠地对玻璃基板进行定位。因此，能够准确地进行尺寸测量。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，对矩形板状的玻璃基板设置8个部位的测量点。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，能够在玻璃基板的靠近四角的端面上分别设置测量点。因此能够确保玻璃基板四角的尺寸地进行尺寸测量。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，所述拍摄元件是显微镜。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，能够高精度获取测量点的坐标。因此，能够精密地实现尺寸测量。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，所述玻璃基板的尺寸测量装置兼作为缺陷内容确定装置，该缺陷内容确定装置根据由所述拍摄元件拍摄的图像数据来确定所述玻璃基板的缺陷的内容。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，无需单独设置尺寸测量装置和缺陷内容确定装置。因此，能够以简单的结构实现尺寸测量及缺陷的内容的确定。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，所述玻璃基板的尺寸测量装置还具备缺陷位置确定装置，该缺陷位置确定装置检测所述玻璃基板的缺陷，并确定该检测到的缺陷的坐标，所述缺陷位置确定装置设置于比所述浮台及所述拍摄元件靠所述玻璃基板的搬运方向的上游侧的位置。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，在进行尺寸测量之前检测玻璃基板有无缺陷。玻璃基板的缺陷内容的确定需要对所有的玻璃基板进行。另一方面，不需要对所有的玻璃基板进行玻璃基板的尺寸的测量。因此，能够选择没有缺陷的玻璃基板或缺陷较少的玻璃基板来进行尺寸测量。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，在确定了所述玻璃基板的缺陷的内容后，进行该玻璃基板的尺寸测量。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，能够在确定了缺陷的内容后时间充裕的情况下进行尺寸测量。因此，能够有效利用时间而高效地进行尺寸测量及缺陷的内容的确定。另外，在本技术的玻璃基板的尺寸测量装置中，优选的是，对未由所述缺陷位置确定装置检测到缺陷的所述玻璃基板进行尺寸测量。根据上述那样的本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，由于未检测到缺陷的话则不进行缺陷的内容的确定，因此时间充裕，能够进行尺寸测量。因此，能够有效利用时间而高效地进行尺寸测量及缺陷内容确定。技术效果作为本技术的效果，起到如下所示那样的效果。即，根据本技术中的玻璃基板的尺寸测量装置，能够进行无损检查的尺寸测量。附图说明图1是示出本专利技术一实施方式的针对玻璃基板的加工的各工序的概略图。图2是示出在本专利技术一实施方式的尺寸测量装置中进行缺陷内容确定工序及尺寸测量工序的部位的图，图2的(a)是其概略俯视图，图2的(b)是其概略侧视图。图3是示出在本专利技术一实施方式的尺寸测量装置中进行缺陷坐标确定工序的部位的图，图3的(a)是其概略俯视图，图3的(b)是其概略主视图。附图标记说明：1...尺寸测量装置；2...浮台；3...定位装置；4...拍摄元件；7...缺陷内容确定装置；8...缺陷位置确定装置；G...玻璃基板；P...测量点。具体实施方式接下来，使用图1至图3来对本专利技术一实施方式的玻璃基板G的尺寸测量装置1进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，为了便于说明，将箭头A的方向规定为玻璃基板G的搬运方向来进行说明。玻璃基板G的尺寸测量装置1(以下简称为尺寸测量装置1)是进行玻璃基板G的尺寸测量的装置。由尺寸测量装置1进行尺寸测量的玻璃基板G例如呈矩形板状。例如，尺寸测量装置1在测量对玻璃基板G进行了端面加工等加工之后的玻璃基板G的尺寸(端面的加工量)时使用。如图1所示，针对玻璃基板G的加工包括：投入玻璃基板G的投入工序S1；对在投入工序S1中投入的玻璃基板G进行加工的加工工序S2；对在加工工序S2中加工了的玻璃基板G进行清洗的清洗工序S3；对在清洗工序S3中清洗了的玻璃基板G进行缺陷检查的检查工序S4；对在检查工序S4中进行了缺陷检查的玻璃基板G进行尺寸测量的尺寸测量工序S5；以及对经历了尺寸测量工序S5的玻璃基板G进行捆包的捆包工序S6。检查工序S4包括确定缺陷的坐标的缺陷坐标确定工序S4a、以及确定在缺陷坐标确定工序S4a中所确定的坐标处的缺陷的内容的缺陷内容确定工序S4b。并且构成为，与缺陷坐标确定工序S4a的作业线的数量相比，缺陷内容确定工序S4b的作业线的数量更多，通过了缺陷坐标确定工序S4a的作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板的尺寸测量装置，其具备：/n浮台，其向水平姿态的玻璃基板的下表面喷出气体，从而以使该玻璃基板浮起的状态对该玻璃基板进行支承；以及/n拍摄元件，其对所述玻璃基板进行拍摄，/n所述玻璃基板的尺寸测量装置的特征在于，/n通过所述拍摄元件来拍摄包含所述浮台上的所述玻璃基板的测量点在内的图像数据，从所述图像数据获取所述测量点的坐标，并基于所述测量点的坐标来计算所述玻璃基板的尺寸。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的尺寸测量装置，其具备：
浮台，其向水平姿态的玻璃基板的下表面喷出气体，从而以使该玻璃基板浮起的状态对该玻璃基板进行支承；以及
拍摄元件，其对所述玻璃基板进行拍摄，
所述玻璃基板的尺寸测量装置的特征在于，
通过所述拍摄元件来拍摄包含所述浮台上的所述玻璃基板的测量点在内的图像数据，从所述图像数据获取所述测量点的坐标，并基于所述测量点的坐标来计算所述玻璃基板的尺寸。


2.根据权利要求1所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述玻璃基板的尺寸测量装置还具备对所述玻璃基板进行定位的定位装置，
所述定位装置在5个部位与矩形板状的玻璃基板抵接来进行定位。


3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
对矩形板状的玻璃基板设置8个部位的测量点。


4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述拍摄元件是显微镜。


5.根据权利要求3所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述玻璃基板的尺寸测量装置兼作为缺陷内容确定装置，该缺陷内容确定装置根据由所述拍摄元件拍摄的图像数据来确定所述玻璃基板的缺陷的内容。


6.根据权利要求5所述的玻璃基板的尺寸测量装置，其特征在于，
所述玻璃基板的尺寸测量装置还具备缺陷位置确定装置，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上厚司，植村弥浩，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP