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本实用新型提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的尺寸测量装置。玻璃基板(G)的尺寸测量装置(1)具备：浮台(2)，其向水平姿态的玻璃基板(G)的下表面喷出气体，从而以使玻璃基板(G)浮起的状态对该玻璃基板(G)支承；以及拍摄元件(4...
该专利属于日本电气硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气硝子株式会社授权不得商用。

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