信息管理装置及信息管理方法制造方法及图纸

对在从分割为多个元件的晶圆拾取元件而向基材安装时在判定元件能否使用后再安装上述元件的安装系统中的信息进行管理的信息管理装置具备：信息存储部，存储各种信息；信息获取部，获取与晶圆中的元件的拾取位置相关的信息和与元件能否使用的判定结果相关的信息；及信息处理部，使元件的拾取位置与能否使用的判定结果相关联的信息存储于信息存储部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】信息管理装置及信息管理方法
本说明书公开信息管理装置及信息管理方法。
技术介绍
以往，公知有对进行将所供给的元件向基材安装的安装处理的安装系统中的信息进行管理的信息管理装置。例如，专利文献1的信息管理装置若被供给能够拾取裸片等多个元件的晶圆等并进行元件向基材的安装，则获取包括元件从晶圆的拾取位置的拾取源信息和包括元件向基材的安装位置的安装目的地信息，将拾取源信息和安装目的地信息相关联地存储。由此，若从安装目的地信息追踪拾取源信息，则能够确定出拾取了元件的晶圆中的拾取位置。因此，例如，在所安装的元件的检查的结果不良的情况下，能够在掌握拾取位置与不良有无关联时利用信息。现有技术文献专利文献专利文献1：WO2016/157356号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上述那样，在这样的信息管理装置中，谋求以能够适当地掌握元件的拾取位置与不良的关联的方式管理信息。另外，在至元件的检查结果出来为止的期间也在后续的基材安装元件，因此为了能够迅速反馈这样的信息而抑制不良的产生，谋求信息的进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种信息管理装置，对安装系统中的信息进行管理，所述安装系统在从分割为多个元件的晶圆拾取所述元件而向基材安装时在判定所述元件能否使用后再安装所述元件，/n所述信息管理装置具备：/n信息存储部，存储各种信息；/n信息获取部，获取与所述晶圆中的所述元件的拾取位置相关的信息和与所述元件能否使用的判定结果相关的信息；及/n信息处理部，使所述元件的拾取位置与所述能否使用的判定结果相关联的信息存储于所述信息存储部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种信息管理装置，对安装系统中的信息进行管理，所述安装系统在从分割为多个元件的晶圆拾取所述元件而向基材安装时在判定所述元件能否使用后再安装所述元件，
所述信息管理装置具备：
信息存储部，存储各种信息；
信息获取部，获取与所述晶圆中的所述元件的拾取位置相关的信息和与所述元件能否使用的判定结果相关的信息；及
信息处理部，使所述元件的拾取位置与所述能否使用的判定结果相关联的信息存储于所述信息存储部。


2.根据权利要求1所述的信息管理装置，其中，
所述信息处理部对应每个所述元件的拾取位置，生成所述能否使用的判定结果为无法使用的无法使用率的统计信息并存储于所述信息存储部。


3.根据权利要求2所述的信息管理装置，其中，
所述信息管理装置具备信息输出部，所述信息输出部基于所述无法使用率的统计信息将所述无法使用率高的拾取位置选定为特定拾取位置，并将指示为以后跳过所述特定拾取位置的所述元件的拾取的跳过信息向所述安装系统具有的安装装置输出。


4.根据权利要求3所述的信息管理装置，其中，
作为对于处于所述特定拾取位置的预定的附近范围内的附近拾取位置的所述元件的应对信息，所述信息输出部将指示为以后跳过所述附近拾取位置的所述元件的拾取的跳过信息向所述安装装置输出。


5.根据权利要求3或4所述的信息管理装置，其中，
所述信息获取...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井公夫，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本;JP