信息管理装置及信息管理方法制造方法及图纸

对在从分割为多个元件的晶圆拾取元件而向基材安装时在判定元件能否使用后再安装上述元件的安装系统中的信息进行管理的信息管理装置具备：信息存储部，存储各种信息；信息获取部，获取与晶圆中的元件的拾取位置相关的信息和与元件能否使用的判定结果相关的信息；及信息处理部，使元件的拾取位置与能否使用的判定结果相关联的信息存储于信息存储部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】信息管理装置及信息管理方法
本说明书公开信息管理装置及信息管理方法。
技术介绍
以往，公知有对进行将所供给的元件向基材安装的安装处理的安装系统中的信息进行管理的信息管理装置。例如，专利文献1的信息管理装置若被供给能够拾取裸片等多个元件的晶圆等并进行元件向基材的安装，则获取包括元件从晶圆的拾取位置的拾取源信息和包括元件向基材的安装位置的安装目的地信息，将拾取源信息和安装目的地信息相关联地存储。由此，若从安装目的地信息追踪拾取源信息，则能够确定出拾取了元件的晶圆中的拾取位置。因此，例如，在所安装的元件的检查的结果不良的情况下，能够在掌握拾取位置与不良有无关联时利用信息。现有技术文献专利文献专利文献1：WO2016/157356号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上述那样，在这样的信息管理装置中，谋求以能够适当地掌握元件的拾取位置与不良的关联的方式管理信息。另外，在至元件的检查结果出来为止的期间也在后续的基材安装元件，因此为了能够迅速反馈这样的信息而抑制不良的产生，谋求信息的进一步的有效利用。本公开的主要目的在于更有效地利用从晶圆拾取多个元件而向基材安装时获取到的信息。用于解决课题的技术方案本公开为了实现上述的主要目的而采用以下的部分。本公开的信息管理装置对安装系统中的信息进行管理，上述安装系统在从分割为多个元件的晶圆拾取上述元件而向基材安装时在判定上述元件能否使用后再安装上述元件，上述信息管理装置的主旨在于，具备：信息存储部，存储各种信息；信息获取部，获取与上述晶圆中的上述元件的拾取位置相关的信息和与上述元件能否使用的判定结果相关的信息；及信息处理部，使上述元件的拾取位置与上述能否使用的判定结果相关联的信息存储于上述信息存储部。本公开的信息管理装置获取与晶圆中的元件的拾取位置相关的信息和与元件能否使用的判定结果相关的信息，并存储元件的拾取位置与能否使用的判定结果相关联的信息。由此，根据所存储的信息，能够掌握判定为无法使用的元件在晶圆中的位置的倾向，或者能够确定出从判定为无法使用的元件的附近拾取到的元件等。因此，无需等待从晶圆拾取而安装于基材的元件的检查结果等，能够有效地利用安装时获取到的信息而进行迅速的应对。附图说明图1是表示安装系统1的结构的概略的结构图。图2是表示安装系统1的电连接关系的框图。图3是晶圆托盘13的立体图。图4是表示晶圆W中的裸片D的拾取位置的说明图。图5是表示元件安装处理的一个例子的流程图。图6是表示跳过位置设定处理的一个例子的流程图。图7是表示元件拾取处理的一个例子的流程图。图8是表示裸片D的形状不良的一个例子的说明图。图9是表示安装关联信息管理处理的一个例子的流程图。图10是表示跳过位置登记处理的一个例子的流程图。图11是表示附近裸片信息输出处理的一个例子的流程图。图12是表示安装实绩信息的一个例子的说明图。图13是表示不良统计信息的一个例子的说明图。图14是表示附近范围和附近裸片信息的一个例子的说明图。图15是表示检查处理的一个例子的流程图。图16是表示检查信息管理处理的一个例子的流程图。图17是表示附加有检查结果信息的安装实绩信息的说明图。图18是表示第2实施方式的附近裸片信息输出处理的一个例子的流程图。具体实施方式[第1实施方式]以下是本专利技术的第1实施方式的说明。图1是表示安装系统1的结构的概略的结构图，图2是表示安装系统1的电连接关系的框图，图3是晶圆托盘13的立体图。此外，在本实施方式中，图1的左右方向为X方向，前后方向为Y方向，上下方向为Z方向。安装系统1具备：将元件向基材S上安装的多个安装装置10；设置于比安装装置10靠基材搬运方向的下游侧并检查元件的安装状态的检查装置70；及进行与安装处理、检查处理相关的各种信息的管理的管理装置90。安装装置10作为供给元件的元件供给装置而具备从收容了元件的带盘供给元件的装置、从载置有晶圆W的晶圆托盘供给元件(裸片D)的装置等，在本实施方式中，对后者进行说明。如图1所示，安装装置10具备：元件供给装置12，从载置有被分割为多个元件(裸片D)的晶圆W的晶圆托盘13供给裸片D；基材搬运装置20，搬运平板状的基材S；基材保持装置30，保持所搬运的基材S；头50，通过利用吸嘴52吸附来拾取从元件供给装置12供给的裸片D并向基材S上安装；移动机构40，使头50沿XY方向移动；标记相机54，能够从上方拍摄标注于基材S的预定位置的表示基材ID的ID标记、标注于晶圆托盘13的预定位置的表示晶圆ID的ID标记、供给至元件供给装置12的裸片D等；零件相机56，能够从下方拍摄被吸嘴52拾取的裸片D；及安装控制装置60(参照图2)，管理安装装置10的整体的控制。如图3所示，晶圆托盘13具备：开设有圆形孔14a的矩形状的托盘主体14；和在以堵塞圆形孔14a的方式伸长的状态下由夹圈16固定于托盘主体14的可伸缩的粘接片18。在粘接片18的上表面粘贴有形成有许多矩形状的裸片D的晶圆W。裸片D通过在裁断晶圆W前通过图案印刷形成电路、其后裁断晶圆W而形成。另外，在晶圆托盘13的上表面标注有表示晶圆ID的ID标记19。晶圆ID示出晶圆W的种类、制造编号等。在粘接片18的下方配置有未图示的顶料杆。顶料杆通过在裸片D被吸附于吸嘴52时将该裸片D从粘接片18的下方向上方顶起来，从而容易从粘接片18剥离裸片D。图4是表示从晶圆W拾取的裸片D的拾取位置的说明图。如图示那样，裸片D的拾取位置例如以左上角为基准位置(1，1)，通过决定基于裸片D的尺寸而得到的坐标间隔的XY坐标系中的拾取位置坐标(X，Y)来表示。此外，图中“-”标记是表示从晶圆W脱离的位置、或者在晶圆W的外缘附近以裸片D的形状形成缺口的位置，且不拾取裸片D。头50(吸嘴52)例如重复以下处理，即，从图4中的左向右依次拾取裸片D，若一行裸片D的拾取结束，则向下一行转移并进行拾取。如图2所示，安装控制装置60作为以CPU61为中心的微处理器而构成，除了CPU61之外，还具备ROM62、HDD63、RAM64、输入输出接口65。它们经由总线66而电连接。来自标记相机54的图像信号、来自零件相机56的图像信号等经由输入输出接口65而输入安装控制装置60。另一方面，安装控制装置60经由输入输出接口65输出朝向元件供给装置12的驱动信号、朝向基材搬运装置20的驱动信号、朝向基材保持装置30的驱动信号、朝向移动机构40的驱动信号、朝向头50的驱动信号等。另外，安装控制装置60经由通信网络与管理装置90以能够双方向通信的方式连接，彼此进行数据、控制信号的交换。另外，安装控制装置60将基于晶圆W的种类(晶圆W的尺寸、裁断后的裸片D的尺寸)的裸片D的拾取位置坐标映射存储于HDD63，若供给晶圆W，则读出与晶圆W的种类对应的拾取位置坐标映射。此外，拾取位置坐标映本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种信息管理装置，对安装系统中的信息进行管理，所述安装系统在从分割为多个元件的晶圆拾取所述元件而向基材安装时在判定所述元件能否使用后再安装所述元件，/n所述信息管理装置具备：/n信息存储部，存储各种信息；/n信息获取部，获取与所述晶圆中的所述元件的拾取位置相关的信息和与所述元件能否使用的判定结果相关的信息；及/n信息处理部，使所述元件的拾取位置与所述能否使用的判定结果相关联的信息存储于所述信息存储部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种信息管理装置，对安装系统中的信息进行管理，所述安装系统在从分割为多个元件的晶圆拾取所述元件而向基材安装时在判定所述元件能否使用后再安装所述元件，
所述信息管理装置具备：
信息存储部，存储各种信息；
信息获取部，获取与所述晶圆中的所述元件的拾取位置相关的信息和与所述元件能否使用的判定结果相关的信息；及
信息处理部，使所述元件的拾取位置与所述能否使用的判定结果相关联的信息存储于所述信息存储部。


2.根据权利要求1所述的信息管理装置，其中，
所述信息处理部对应每个所述元件的拾取位置，生成所述能否使用的判定结果为无法使用的无法使用率的统计信息并存储于所述信息存储部。


3.根据权利要求2所述的信息管理装置，其中，
所述信息管理装置具备信息输出部，所述信息输出部基于所述无法使用率的统计信息将所述无法使用率高的拾取位置选定为特定拾取位置，并将指示为以后跳过所述特定拾取位置的所述元件的拾取的跳过信息向所述安装系统具有的安装装置输出。


4.根据权利要求3所述的信息管理装置，其中，
作为对于处于所述特定拾取位置的预定的附近范围内的附近拾取位置的所述元件的应对信息，所述信息输出部将指示为以后跳过所述附近拾取位置的所述元件的拾取的跳过信息向所述安装装置输出。


5.根据权利要求3或4所述的信息管理装置，其中，
所述信息获取...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井公夫，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本;JP