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文档序号:24950090
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对在从分割为多个元件的晶圆拾取元件而向基材安装时在判定元件能否使用后再安装上述元件的安装系统中的信息进行管理的信息管理装置具备:信息存储部,存储各种信息;信息获取部,获取与晶圆中的元件的拾取位置相关的信息和与元件能否使用的判定结果相关的信息...
该专利属于株式会社富士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士授权不得商用。
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