承载机构制造技术

本公开涉及工件装载技术领域，提出了一种承载机构，用于夹紧基片，承载机构包括主框架和夹紧边部，夹紧边部设置在主框架上，夹紧边部包括夹紧边和弹性元件，夹紧边上设置有安装槽，弹性元件设置在安装槽内，安装槽包括斜边沟槽，斜边沟槽位于安装槽的中部；其中，夹紧边部成对设置，成对的两个夹紧边部相对可移动地设置，以将基片夹紧在相对的两个弹性元件之间。由于两个夹紧边之间的距离可调整，且在装载过程中仅需通过移动夹紧边部就可以完成对基片的夹紧，从而提高了基片的装夹效率，解决了现有技术中的基片装载效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
承载机构
本公开涉及工件装载
，尤其涉及一种承载机构。
技术介绍
石墨烯薄膜是透明导电薄膜的一种，因其具有良好的导电率及透明性，得到了广泛应用。石墨烯薄膜可以直接生长在玻璃基片、石英晶圆、蓝宝石晶圆等基片表面，目前石墨烯薄膜材料已经实现了中试级的规模生产，然而市场上石墨烯薄膜材料质量参差不齐，因此针对石墨烯薄膜材料的质量检测非常重要。石墨烯玻璃、石墨烯晶圆等基片通常是圆形或矩形的片状材料，其具有不同的规格尺寸。针对石墨烯薄膜材料性能的批量检测，可通过基片光学透光率和面电阻两项指标的快速获取实现。在基片的检测过程中，需要对不同外形和不同尺寸的基片进行快速的装卡固定，为配合检测设备实现自动化，承载装置通常要求实现基片的自动对中，而且承载装置中间必须镂空，不能影响光学透光率的测量，另外要尽量减小装卡部位的面积，降低对测量有效面积的影响。在半导体设备中，对于硅片的承载，多采取手动在基片各边缘放置压紧机构的方式实现装载，这种技术方法效率低，无法配合自动化设备提高装载效率。
技术实现思路
本公开提供一种承载机构，以解决现有技术中的基片装载效率较低的问题。本专利技术提供了一种承载机构，用于夹紧基片，承载机构包括：主框架；夹紧边部，夹紧边部设置在主框架上，夹紧边部包括夹紧边和弹性元件，夹紧边上设置有安装槽，弹性元件设置在安装槽内，安装槽包括斜边沟槽，斜边沟槽位于安装槽的中部；其中，夹紧边部成对设置，成对的两个夹紧边部相对可移动地设置，以将基片夹紧在相对的两个弹性元件之间。在本专利技术的一个实施例中，斜边沟槽包括相对的两个斜边，两个斜边间隔设置，且两个斜边之间的夹角为钝角；其中，弹性元件的部分与两个斜边相贴合。在本专利技术的一个实施例中，斜边沟槽为通槽。在本专利技术的一个实施例中，安装槽的顶壁的宽度小于安装槽的底壁的宽度；主框架上设置有刻度标记，刻度标记沿夹紧边部的移动方向设置。在本专利技术的一个实施例中，弹性元件与安装槽相适配，弹性元件具有与安装槽形状相一致的容纳槽，容纳槽用于容纳基片的部分。在本专利技术的一个实施例中，承载机构还包括：丝杠组件，丝杠组件包括丝杠和丝杠螺母副，丝杠可转动地设置在主框架上，丝杠螺母副设置在丝杠上，且与夹紧边相连接，以使夹紧边部通过丝杠组件设置在主框架上；其中，丝杠螺母副成对设置，成对的两个丝杠螺母副分别连接成对的两个夹紧边，以在丝杠转动时，两个丝杠螺母副带动两个夹紧边部沿相反的两个方向移动。在本专利技术的一个实施例中，承载机构还包括：光轴组件，光轴组件包括光轴和直线轴承，光轴设置在主框架上，直线轴承设置在光轴上；其中，丝杠与光轴平行设置，直线轴承成对设置，成对的两个丝杠螺母副与成对的两个直线轴承一一相对应地设置，丝杠螺母副和直线轴承分别连接夹紧边的两端。在本专利技术的一个实施例中，丝杠组件还包括成对的两个第一滑块，成对的两个第一滑块分别设置在成对的两个丝杠螺母副上，且用于连接成对的两个夹紧边的第一端；光轴组件还包括成对的两个第二滑块，成对的两个第二滑块分别设置在成对的两个直线轴承上，且用于连接成对的两个夹紧边的第二端。在本专利技术的一个实施例中，承载机构还包括：反向锁止组件，反向锁止组件包括棘轮和棘爪，棘轮与丝杠相连接，棘爪可转动地设置在主框架上；其中，棘爪包括第一卡止部和第二卡止部，第一卡止部和第二卡止部可选择地与棘轮卡接，以分别限制棘轮沿两个方向的转动。在本专利技术的一个实施例中，反向锁止组件还包括：固定块，固定块设置在主框架上；弹性件，弹性件的一端与固定块相抵接；顶杆，顶杆的一端与弹性件的另一端相抵接，顶杆的另一端与棘爪相抵接。本专利技术的承载机构通过相对可移动设置的两个夹紧边部可以实现对基片的快速夹紧。在具体装载过程中，根据基片的大小调整两个夹紧边之间的距离，最终将基片夹紧在相对的两个弹性元件之间。由于两个夹紧边之间的距离可调整，且在装载过程中仅需通过移动夹紧边部就可以完成对基片的夹紧，从而提高了基片的装夹效率，解决了现有技术中的基片装载效率较低的问题。附图说明通过结合附图考虑以下对本公开的优选实施方式的详细说明，本公开的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本公开的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种承载机构的第一个视角的结构示意图；图2是根据一示例性实施方式示出的一种承载机构的第二个视角的结构示意图；图3是根据一示例性实施方式示出的一种承载机构的反向锁止组件的结构示意图；图4是根据一示例性实施方式示出的一种承载机构的剖面结构示意图；图5是图4中A处的放大结构示意图；图6是根据一示例性实施方式示出的一种承载机构的夹紧边的结构示意图；图7是根据一示例性实施方式示出的一种承载机构的夹紧边的剖面结构示意图。附图标记说明如下：1、基片；10、主框架；11、上边框；12、下边框；13、左边框；14、右边框；20、夹紧边部；21、夹紧边；22、弹性元件；23、安装槽；231、斜边沟槽；232、斜边；30、丝杠组件；31、丝杠；32、丝杠螺母副；33、第一滑块；40、光轴组件；41、光轴；42、直线轴承；43、第二滑块；50、反向锁止组件；51、棘轮；52、棘爪；521、第一卡止部；522、第二卡止部；53、顶杆；54、弹性件；55、固定块；60、外部工具。具体实施方式体现本公开特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本公开能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本公开的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本公开。在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构，系统和步骤。应理解的是，可以使用部件，结构，示例性装置，系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”，“之间”，“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。本专利技术的一个实施例提供了一种承载机构，用于夹紧基片1，请参考图1至图7，承载机构包括：主框架10；夹紧边部20，夹紧边部20设置在主框架10上，夹紧边部20包括夹紧边21和弹性元件22，夹紧边21上设置有安装槽23，弹性元件22设置在安装槽23内，安装槽23包括斜边沟槽231，斜边沟槽231位于安装槽23的中部；其中，夹紧边部20成对设置，成对的两个夹紧边部20相对可移动地设置，以将基片1夹紧在相对的两个弹性元件22之间。本专利技术一个实施例的承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种承载机构，用于夹紧基片(1)，其特征在于，所述承载机构包括：/n主框架(10)；/n夹紧边部(20)，所述夹紧边部(20)设置在所述主框架(10)上，所述夹紧边部(20)包括夹紧边(21)和弹性元件(22)，所述夹紧边(21)上设置有安装槽(23)，所述弹性元件(22)设置在所述安装槽(23)内，所述安装槽(23)包括斜边沟槽(231)，所述斜边沟槽(231)位于所述安装槽(23)的中部；/n其中，所述夹紧边部(20)成对设置，成对的两个所述夹紧边部(20)相对可移动地设置，以将所述基片(1)夹紧在相对的两个所述弹性元件(22)之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种承载机构，用于夹紧基片(1)，其特征在于，所述承载机构包括：
主框架(10)；
夹紧边部(20)，所述夹紧边部(20)设置在所述主框架(10)上，所述夹紧边部(20)包括夹紧边(21)和弹性元件(22)，所述夹紧边(21)上设置有安装槽(23)，所述弹性元件(22)设置在所述安装槽(23)内，所述安装槽(23)包括斜边沟槽(231)，所述斜边沟槽(231)位于所述安装槽(23)的中部；
其中，所述夹紧边部(20)成对设置，成对的两个所述夹紧边部(20)相对可移动地设置，以将所述基片(1)夹紧在相对的两个所述弹性元件(22)之间。


2.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述斜边沟槽(231)包括相对的两个斜边(232)，两个所述斜边(232)间隔设置，且两个所述斜边(232)之间的夹角为钝角；
其中，所述弹性元件(22)的部分与两个所述斜边(232)相贴合。


3.根据权利要求2所述的承载机构，其特征在于，所述斜边沟槽(231)为通槽。


4.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述安装槽(23)的顶壁的宽度小于所述安装槽(23)的底壁的宽度；
所述主框架(10)上设置有刻度标记，所述刻度标记沿所述夹紧边部(20)的移动方向设置。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的承载机构，其特征在于，所述弹性元件(22)与所述安装槽(23)相适配，所述弹性元件(22)具有与所述安装槽(23)形状相一致的容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述基片(1)的部分。


6.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述承载机构还包括：
丝杠组件(30)，所述丝杠组件(30)包括丝杠(31)和丝杠螺母副(32)，所述丝杠(31)可转动地设置在所述主框架(10)上，所述丝杠螺母副(32)设置在所述丝杠(31)上，且与所述夹紧边(21)相连接，以使所述夹紧边部(20)通过所述丝杠组件(30)设置在所述主框架(10)上；
其中，所述丝杠螺母副(32)成对设置，成对的两个所述丝杠螺母副(32)分别连接成对的两个所述夹紧边(21)，以在所述丝杠...

【专利技术属性】
技术研发人员：周竞辉，高鹏，张风港，顾伟，
申请(专利权)人：北京石墨烯研究院，
类型：发明
国别省市：北京;11