一种金属-石墨烯混合结构超表面及传感器与光开关制造技术

本发明专利技术公开了一种金属‑石墨烯混合结构超表面及传感器与光开关。所述金属‑石墨烯混合结构超表面由金属‑石墨烯混合结构单元在电介质衬底上周期性排列组成；每一个金属‑石墨烯混合结构单元包括金属刻蚀的铝切割线、金属刻蚀的对称分裂环和长带石墨烯纳米条；所述铝切割线和对称分裂环之间有间隔且共面设置，形成共面层，所述共面层位于最上层，电介质衬底位于最下层，长带石墨烯纳米条位于对称分裂环与电介质衬底之间；相邻金属‑石墨烯混合结构单元的长带石墨烯纳米条之间是连续的。基于该超表面形成的传感器和光开关具有较高的灵敏度，更快的响应时间以及光学参数可调节等特点同时耦合器件尺寸小，便于集成。

【技术实现步骤摘要】
一种金属-石墨烯混合结构超表面及传感器与光开关
本专利技术涉及基于金属-石墨烯混合结构超表面的光学器件领域，具体涉及一种金属-石墨烯混合结构超表面及传感器与光开关。
技术介绍
表面等离子体(SPs)是光学驱动下局域在金属-电介质界面处自由电子的集体震荡。外界光子和表面等离子体之间的强耦合作用称为表面等离子体极化，这种耦合作用将产生表面等离子体共振(SPR)，并且对金属-电介质界面处介质环境的变化较为敏感，因此SPR技术常被运用于传感分析和光学开关等领域。石墨烯是由单层碳原子紧密堆积成二维蜂窝状晶格结构的一种碳质新材料，其零带隙能带结构以及高的载流子迁移率，使其具有宽光谱和高响应速率特点。由于石墨烯的电导率可以通过掺杂和门控电压方式改变其费米能级，进而达到调节局域等离子体共振(LSPR)目的。因此使得石墨烯基传感、光开关等器件具有广泛的应用前景。基于金属-石墨烯混合结构超表面阵列传感器及光开关器件，实质上是金属刻蚀的铝切割线与对称分裂环形成的超表面阵列放置于半无限长硅-蓝宝石组合衬底上。连续的长带石墨烯纳米条阵列放置暗模式谐振器(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属-石墨烯混合结构超表面，其特征在于，所述金属-石墨烯混合结构超表面由金属-石墨烯混合结构单元在电介质衬底上周期性排列组成；每一个金属-石墨烯混合结构单元包括金属刻蚀的铝切割线、金属刻蚀的对称分裂环和长带石墨烯纳米条；所述铝切割线和对称分裂环之间有间隔且共面设置，形成共面层，所述共面层位于最上层，电介质衬底位于最下层，长带石墨烯纳米条位于对称分裂环与电介质衬底之间；相邻金属-石墨烯混合结构单元的长带石墨烯纳米条之间是连续的。/n

【技术特征摘要】
20190821 CN 201910772797X1.一种金属-石墨烯混合结构超表面，其特征在于，所述金属-石墨烯混合结构超表面由金属-石墨烯混合结构单元在电介质衬底上周期性排列组成；每一个金属-石墨烯混合结构单元包括金属刻蚀的铝切割线、金属刻蚀的对称分裂环和长带石墨烯纳米条；所述铝切割线和对称分裂环之间有间隔且共面设置，形成共面层，所述共面层位于最上层，电介质衬底位于最下层，长带石墨烯纳米条位于对称分裂环与电介质衬底之间；相邻金属-石墨烯混合结构单元的长带石墨烯纳米条之间是连续的。


2.根据权利要求1所述的金属-石墨烯混合结构超表面，其特征在于，所述铝切割线在横向x轴方向的分布周期为119.8~120.2µm；所述对称分裂环在横向x轴方向和纵向y轴方向的分布周期分别为119.8~120.2µm×79.8~80.2µm。


3.根据权利要求1所述的金属-石墨烯混合结构超表面，其特征在于，共面层的厚度为0.15~0.25µm。


4.根据权利要求1所述的金属-石墨烯混合结构超表面，其特征在于，铝切割线的长度为79.8~80.2µm，宽度为4.8~5.2µm。


5.根据权利要求1所述的金属-石墨烯混合结构超表面，其特征在于，所述对称分裂环上开设有2个纵向对称设置的开口，对称分裂环的内半径为17.8~18.2µm，外半径为22.8~23.2µm，开口宽度为4.8~5.2µm。


6.根据权利要求1所述的金属-石墨烯...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒙红云，王显军，邓淑营，谭春华，黄旭光，
申请(专利权)人：华南师范大学，
类型：发明
国别省市：广东;44