【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚
本专利技术涉及蒸镀工艺
,具体涉及一种蒸镀坩埚。
技术介绍
随着显示技术日新月异的发展,在显示设备中OLED(Organiclightemittingdiode,有源矩阵发光二极管)显示屏成为当下高端智能产品追求采用的热点。在制备OLED时,需要利用坩埚将有机熔融材料蒸镀到OLED基板上,而在蒸镀过程中,需要交替移动使用坩埚,而在坩埚的移动过程中,由于移动加速导致坩埚内的有机熔融材料发生剧烈的晃动震荡,导致蒸镀膜厚度不一致,从而影响产品性能。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术实施例提供了一种蒸镀坩埚,解决了由于在蒸镀过程中需要交替移动使用坩埚,且在移动的过程中会加速从而导致坩埚内的有机熔融材料发生剧烈的晃动震荡,使得蒸镀膜厚度不一致,影响产品性能的问题。本专利技术一实施例提供的一种蒸镀坩埚包括:坩埚本体;以及设置在所述坩埚本体的坩埚槽内的至少一个缓冲板,至少一个所述缓冲板沿所述坩埚本体宽度方向放置,其中所述缓冲板包括挡片和与所述挡片表面连接的至少一个弹簧,至少一个所述弹簧可以 ...
【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括:/n坩埚本体;以及/n设置在所述坩埚本体的坩埚槽内的至少一个缓冲板,至少一个所述缓冲板沿所述坩埚本体宽度方向放置,其中所述缓冲板包括挡片和与所述挡片表面连接的至少一个弹簧,至少一个所述弹簧可以沿所述坩埚本体长度方向被拉伸或压缩。/n
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括:
坩埚本体;以及
设置在所述坩埚本体的坩埚槽内的至少一个缓冲板,至少一个所述缓冲板沿所述坩埚本体宽度方向放置,其中所述缓冲板包括挡片和与所述挡片表面连接的至少一个弹簧,至少一个所述弹簧可以沿所述坩埚本体长度方向被拉伸或压缩。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述挡片上开设有多个第一穿孔。
3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述坩埚本体包括1~20个所述坩埚槽,其中每个所述坩埚槽内放置1~10个所述缓冲板。
4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚,其特征在于,1~10个所述缓冲板沿所述坩埚本体宽度方向放置,其中1~10个所述缓冲板沿所述坩埚本体长度方向将所述坩埚槽的内部空间对应分割成2~11个均等的空间。
5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述均等的空间内分别设置有至少一个所述弹簧,其中至少一个所述弹簧...
【专利技术属性】
技术研发人员:张雪峰,陈闻凯,赵景训,黄永振,陈雷行,张红信,卫勇勇,王晓强,贾凯,滕鑫,贺斌露,
申请(专利权)人:云谷固安科技有限公司,
类型:发明
国别省市:河北;13
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