应用于真空镀膜的卷带收集装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种应用于真空镀膜的卷带收集装置，包括底板以及设置在所述底板上的卷带收集组件和卷带支撑组件；所述底板上间隔设置有第一安装座对和第二安装座对，所述卷带收集组件包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动带轮机构和可转动设置在所述第二安装座对上的从动带轮机构。本发明专利技术结构简单，利于实现小型化，可在小空间内实现卷带的自动缠绕收集；通过设置卷带支撑组件，对处于镀膜区域的卷带进行支撑，使其保持水平状态，使镀层均匀；本发明专利技术的主动带轮机构和从动带轮机构可方便从安装座上安装和取下，便于卷带的装入和取下；卷带支撑组件中的支撑辊的水平度和高度可方便调节，便于保证对卷带的良好水平支撑效果。

【技术实现步骤摘要】
应用于真空镀膜的卷带收集装置
本专利技术涉及机械领域，特别涉及一种应用于真空镀膜的卷带收集装置。
技术介绍
随着扫描电子显微镜的广泛使用，承载样品的介质种类也是多种多样，而当实验人员使用绝缘卷带收集检测样品时，为了防止扫描电镜电子枪发射的高能电子束聚集在样品表面造成不可逆转的损伤，往往卷带需要镀上一层导电薄膜。需要注意的是，在镀膜时，如果已经镀上薄膜的部分没有及时进行收集，就会造成镀层不均匀，虽然对样品损伤较小，但导致成像效果较差，也不能得到理想的结果。扫描电镜的光学成像原理是利用电子枪发射出的聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，观测者即可获得测试试样表面形貌信息。由于所要观测的样品连续且数量大，需要使用薄膜卷带收集。但是由于薄膜为绝缘性质，如果直接收集样品进行成像，高能电子束中的电子无法及时引出，聚集在样品上，不仅对样品产生较大损伤，以至于无法得到理想的结果，因此在收集样品之前，薄膜卷带需要镀上一层导电层。镀层的均匀性是需要保证的重要性质，现有的技术大多用于较大尺寸的薄膜的收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于真空镀膜的卷带收集装置，其特征在于，包括底板以及设置在所述底板上的卷带收集组件和卷带支撑组件；/n所述底板上间隔设置有第一安装座对和第二安装座对，所述卷带收集组件包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动带轮机构和可转动设置在所述第二安装座对上的从动带轮机构；/n所述第一安装座对和第二安装座对中的安装座的结构均相同，包括固接在所述底板上的下座、可转动设置在所述下座上方的上座、设置在所述下座和上座之间的铜瓦轴承以及用于将所述上座锁紧在所述下座上的锁紧机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空镀膜的卷带收集装置，其特征在于，包括底板以及设置在所述底板上的卷带收集组件和卷带支撑组件；
所述底板上间隔设置有第一安装座对和第二安装座对，所述卷带收集组件包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动带轮机构和可转动设置在所述第二安装座对上的从动带轮机构；
所述第一安装座对和第二安装座对中的安装座的结构均相同，包括固接在所述底板上的下座、可转动设置在所述下座上方的上座、设置在所述下座和上座之间的铜瓦轴承以及用于将所述上座锁紧在所述下座上的锁紧机构。


2.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜的卷带收集装置，其特征在于，所述卷带支撑组件间隔设置在所述主动带轮机构和从动带轮机构之间，所述卷带支撑组件包括固接在所述底板上的支撑座和可转动设置在所述支撑座上的支撑辊。


3.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜的卷带收集装置，其特征在于，所述主动带轮机构包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动轴和固接在所述主动轴上的主动带轮，所述从动带轮机构包括可转动设置在所述第二安装座对上的从动轴和固接在所述从动轴上的从动带轮。


4.根据权利要求3所述的应用于真空镀膜的卷带收集装置，其特征在于，所述铜瓦轴承包括分别固接在所述上座的下端面上的上半轴承和下座的上端面上的下半轴承，所述上半轴承和下半轴承之间用于可转动承载所述主动轴或从动轴。


5.根据权利要求4所述的应用于真空镀膜的卷带收集装置，其特征在于，所述上座和下座的第一侧通过折页可转动连接，所述上座和下座的第二侧分别开设有相互连通的上锁紧槽和下锁紧槽，所述下座上还开设有与所述下锁紧槽垂直贯通的轴孔；
所述锁紧机构包括设置在所述轴孔内的销轴、可转动套设在所述销轴上的轴套、固接在所述轴套上的锁紧螺柱以及螺纹套设在所述锁紧螺柱上的锁紧螺母，所述上锁紧槽和下锁紧槽形成的锁紧槽可容纳所述锁紧螺柱，所述锁紧螺母的外径大于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张若冰，范昊，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：发明
国别省市：江苏;32