【技术实现步骤摘要】
一种金刚石薄膜的制备装置
本技术属于气相沉积
,具体地指一种金刚石薄膜的制备装置。
技术介绍
金刚石具有硬度高、耐磨性好、耐腐蚀性好等优点,在切削、钻探和电子工业等领域中得到广泛的应用。通过静态超高压高温技术和气相沉积技术可制备出符合生产要求的人造金刚石。现有技术中,部分气相沉积炉会在炉内安装水冷管道,以调节炉内温度。水冷管道中的冷却剂在气相沉积炉内被加热后,携带有大量的热量,但这些热量一般都得不到充分的利用。
技术实现思路
为解决现有技术中冷却剂携带的热量未得到充分利用等问题,本技术提供了一种金刚石薄膜的制备装置。本技术采用的技术方案是:一种金刚石薄膜的制备装置,包括反应室、水冷管道和加热器;所述水冷管道安装于反应室的内壁;所述加热器的外壳顶部向内凹陷,形成容纳槽;所述外壳中空,形成空腔;所述外壳连通有进水管和出水管;所述进水管与所述水冷管道连通。所述出水管与外壳顶部连通。所述容纳槽底部安装有加热元件。所述容纳槽由导热材料制成。所述加热器的外壳外侧包覆有保温材料层。所述进水管外侧包覆有保温材料层。所述反应室的外壁开设有第一进气口。所述制备装置还包括原料罐;原料罐位于容纳槽内;原料罐顶部开设有出气口,出气口通过管道与第一进气口连通。本技术的有益效果是:利用携带热量的冷却剂加热制备金刚石过程中需要加热原料的原料罐,能够充分利用能源,降低能耗。附图说明图1为本技术金 ...
【技术保护点】
1.一种金刚石薄膜的制备装置,其特征在于,包括反应室(200)、水冷管道(300)和加热器;/n所述水冷管道(300)安装于反应室(200)的内壁;/n所述加热器的外壳(101)顶部向内凹陷,形成容纳槽(102);所述外壳(101)中空,形成空腔(103);/n所述外壳(101)连通有进水管(104)和出水管(105);所述进水管(104)与所述水冷管道(300)连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种金刚石薄膜的制备装置,其特征在于,包括反应室(200)、水冷管道(300)和加热器;
所述水冷管道(300)安装于反应室(200)的内壁;
所述加热器的外壳(101)顶部向内凹陷,形成容纳槽(102);所述外壳(101)中空,形成空腔(103);
所述外壳(101)连通有进水管(104)和出水管(105);所述进水管(104)与所述水冷管道(300)连通。
2.根据权利要求1所述的金刚石薄膜的制备装置,其特征在于,所述出水管(105)与外壳(101)顶部连通。
3.根据权利要求1所述的金刚石薄膜的制备装置,其特征在于,所述容纳槽(102)底部安装有加热元件(106)。
4.根据权利要求1所述的金刚石薄膜...
【专利技术属性】
技术研发人员:托马斯·斌·余,余海粟,朱轶方,陆骁莹,
申请(专利权)人:杭州超然金刚石有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。