一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机，包括真空膜腔、透明外罩和锁紧固定机构，所述透明外罩的内部形成真空膜腔，所述透明外罩的下端设有底板，所述底板的上方四角焊接有立柱，所述立柱的上端设有中板，所述中板的中部开设有两个条形槽，两个所述条形槽位于同于水平线上，所述中板和底板之间安装有锁紧固定机构。本镀膜机通过转动转盘使得两个移动座沿线性滑轨移动，实现对两个夹持块之间距离的调节，当基片放置于两个夹持块之间时，能够对基片实行固定锁紧，将基片定位，在镀膜时能够定点定量的对基片镀膜，提高镀膜效率，节约膜料，且能够提高镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜机
，尤其涉及一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，但是基片在镀膜过程中不能够被固定锁紧，从而导致镀膜的膜料浪费，镀膜的精度难以控制，镀膜效率低，质量差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机，具备高效率，高质量的特点，解决了现有技术中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机，包括真空膜腔、透明外罩和锁紧固定机构，所述透明外罩的内部形成真空膜腔，所述透明外罩的下端设有底板，所述底板的上方四角焊接有立柱，所述立柱的上端设有中板，所述中板的中部开设有两个条形槽，两个所述条形槽位于同于水平线上，所述中板和底板之间安装有锁紧固定机构；所述锁紧固定机构包括安装板、第一移动座、第二移动座、线性滑轨、第一导杆、夹持块和第二导杆，所述安装板的下表面固定连接有底板的上表面，所述安装板的上表面设有线性滑轨，所述安装板的中部安装有第一导杆，所述第一导杆的一端连接有第一移动座，所述第一导杆的另一端连接有第二移动座，所述第一导杆的一端连接有第一齿轮，所述第一齿轮咬合连接有第二齿轮，所述第二齿轮位于第二导杆的一端，所述第一移动座、第二移动座的上端固定连接有夹持块，所述第一移动座、第二移动座的下端滑动连接有线性滑轨，所述第二导杆的一端连接有转盘。优选的，所述第一导杆的外表面开设有外螺纹，且第一导杆两端的外螺纹呈反向，第一导杆通过螺纹连接有第一移动座、第二移动座。优选的，所述夹持块位于条形槽的上端。优选的，所述安装板的两端通过轴承旋转连接有第一导杆。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术的带有锁紧固定结构的真空镀膜机，通过转动转盘使得两个移动座沿线性滑轨移动，实现对两个夹持块之间距离的调节，当基片放置于两个夹持块之间时，能够对基片实行固定锁紧，将基片定位，在镀膜时能够定点定量的对基片镀膜，提高镀膜效率，节约膜料，且能够提高镀膜质量。附图说明图1为本技术的整体结构图；图2为本技术的中板连接图；图3为本技术的锁紧固定机构结构图；图4为本技术的第一导杆和第二导杆连接图。图中：1、真空膜腔；2、透明外罩；3、锁紧固定机构；31、安装板；32、第一移动座；33、第二移动座；34、线性滑轨；35、第一导杆；351、第一齿轮；36、夹持块；37、第二导杆；371、第二齿轮；4、底板；5、立柱；6、中板；7、条形槽；8、转盘。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机，包括真空膜腔1、透明外罩2和锁紧固定机构3，透明外罩2的内部形成真空膜腔1，透明外罩2的下端设有底板4，透明外罩2和第一导杆35的连接处安装有橡胶圈，用于密封，防止真空膜腔1接触外界气体，底板4的上方四角焊接有立柱5，立柱5的上端设有中板6，中板6的中部开设有两个条形槽7，夹持块36位于条形槽7的上端，基片放置在中板6的上表面，夹持块36夹持将其固定，两个条形槽7位于同于水平线上，中板6和底板4之间安装有锁紧固定机构3。请参阅图3-4，锁紧固定机构3包括安装板31、第一移动座32、第二移动座33、线性滑轨34、第一导杆35、夹持块36和第二导杆37，安装板31的下表面固定连接有底板4的上表面，安装板31的两端通过轴承旋转连接有第一导杆35，确保第一导杆35旋转时，安装板31处于静止状态，安装板31的上表面设有线性滑轨34，安装板31的中部安装有第一导杆35，第一导杆35的外表面开设有外螺纹，且第一导杆35两端的外螺纹呈反向，第一导杆35通过螺纹连接有第一移动座32、第二移动座33，通过转动转盘8使得第二导杆37转动，第二导杆37带动第二齿轮371转动，因为第二齿轮371与第一齿轮351相互啮合，所以第二齿轮371带动第一齿轮351转动，第一齿轮351带动第一导杆35转动，因为第一移动座32和第二移动座33均通过螺纹连接有第一导杆35，则当第一导杆35转动时，第一移动座32在螺纹的作用下沿线性滑轨34移动，由于两个移动座连接的螺纹为反向螺纹，则两个移动座移动的方向相向或者相反，第一导杆35的一端连接有第一移动座32，第一导杆35的另一端连接有第二移动座33，第一导杆35的一端连接有第一齿轮351，第一齿轮351咬合连接有第二齿轮371，第二齿轮371位于第二导杆37的一端，第一移动座32、第二移动座33的上端固定连接有夹持块36，第一移动座32、第二移动座33的下端滑动连接有线性滑轨34，第二导杆37的一端连接有转盘8。工作原理：通过转动转盘8使得第二导杆37转动，第二导杆37带动第二齿轮371转动，因为第二齿轮371与第一齿轮351相互啮合，所以第二齿轮371带动第一齿轮351转动，第一齿轮351带动第一导杆35转动，因为第一移动座32和第二移动座33均通过螺纹连接有第一导杆35，则当第一导杆35转动时，第一移动座32在螺纹的作用下沿线性滑轨34移动，由于两个移动座连接的螺纹为反向螺纹，则两个移动座移动的方向相向或者相反，实现对两个夹持块36之间距离的调节，当基片放置于两个夹持块36之间时，能够对基片实行固定锁紧。综上所述：本技术的带有锁紧固定结构的真空镀膜机，通过转动转盘8使得两个移动座沿线性滑轨34移动，实现对两个夹持块36之间距离的调节，当基片放置于两个夹持块36之间时，能够对基片实行固定锁紧，将基片定位，在镀膜时能够定点定量的对基片镀膜，提高镀膜效率，节约膜料，且能够提高镀膜质量。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机，包括真空膜腔（1）、透明外罩（2）和锁紧固定机构（3），其特征在于：所述透明外罩（2）的内部形成真空膜腔（1），所述透明外罩（2）的下端设有底板（4），所述底板（4）的上方四角焊接有立柱（5），所述立柱（5）的上端设有中板（6），所述中板（6）的中部开设有两个条形槽（7），两个所述条形槽（7）位于同于水平线上，所述中板（6）和底板（4）之间安装有锁紧固定机构（3）；/n所述锁紧固定机构（3）包括安装板（31）、第一移动座（32）、第二移动座（33）、线性滑轨（34）、第一导杆（35）、夹持块（36）和第二导杆（37），所述安装板（31）的下表面固定连接有底板（4）的上表面，所述安装板（31）的上表面设有线性滑轨（34），所述安装板（31）的中部安装有第一导杆（35），所述第一导杆（35）的一端连接有第一移动座（32），所述第一导杆（35）的另一端连接有第二移动座（33），所述第一导杆（35）的一端连接有第一齿轮（351），所述第一齿轮（351）咬合连接有第二齿轮（371），所述第二齿轮（371）位于第二导杆（37）的一端，所述第一移动座（32）、第二移动座（33）的上端固定连接有夹持块（36），所述第一移动座（32）、第二移动座（33）的下端滑动连接有线性滑轨（34），所述第二导杆（37）的一端连接有转盘（8）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种带有锁紧固定结构的真空镀膜机，包括真空膜腔（1）、透明外罩（2）和锁紧固定机构（3），其特征在于：所述透明外罩（2）的内部形成真空膜腔（1），所述透明外罩（2）的下端设有底板（4），所述底板（4）的上方四角焊接有立柱（5），所述立柱（5）的上端设有中板（6），所述中板（6）的中部开设有两个条形槽（7），两个所述条形槽（7）位于同于水平线上，所述中板（6）和底板（4）之间安装有锁紧固定机构（3）；
所述锁紧固定机构（3）包括安装板（31）、第一移动座（32）、第二移动座（33）、线性滑轨（34）、第一导杆（35）、夹持块（36）和第二导杆（37），所述安装板（31）的下表面固定连接有底板（4）的上表面，所述安装板（31）的上表面设有线性滑轨（34），所述安装板（31）的中部安装有第一导杆（35），所述第一导杆（35）的一端连接有第一移动座（32），所述第一导杆（35）的另一端连接有第二移动座（33），所述第一导杆（35）的一端连...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵光明，
申请(专利权)人：无锡吉海光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32